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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號
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所 在 地沈陽市
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更新時間:2023-06-30 10:41:59瀏覽次數(shù):210次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC
產(chǎn)品簡介:25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC是一款小型程控感應(yīng)熔煉系統(tǒng),配備有直徑Ø100mm的石英管、不銹鋼法蘭、石墨坩堝、真空泵、水冷機和移動架,功率為25KW,是生長晶體和合金熔煉(熔點< 1700ºC)的理想選擇。
25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC操作視頻
產(chǎn)品型號 | 25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關(guān)),必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭) 4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點 | 1、配有可耐1800℃的高純氧化鋁纖維制作的耐火磚,用于支撐石墨坩堝,并防止熱量輻射。 2、設(shè)有自動水壓、過熱、功率過高保護系統(tǒng)。 3、溫控器采用PID方式控溫,可設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過熱和斷偶保護功能。 4、配有防腐型真空計,當(dāng)氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類的不同進行系數(shù)轉(zhuǎn)換,量程可到3.8×10E-5 torr。 5、配有雙旋直連式機械泵。 |
技術(shù)參數(shù) | 高頻感應(yīng)加熱爐 1、工作電壓:三相AC 380V 50Hz(需60A空氣開關(guān)) 2、輸入功率:15KW 3、振蕩頻率:30KHz-80KHz 4、循環(huán)比:80% 5、感應(yīng)線圈:外徑Ø120mm,內(nèi)徑Ø110mm,高50mm(可微調(diào)) |
溫度控制器 1、工作電壓:AC208V-240V 單相 2、控溫精度:±5℃ 3、溫度:連續(xù)工作溫度1000℃-2000℃,工作溫度1700℃(工作時間<30min) 4、升溫速率:1℃/s(0-1000℃)、0.5℃/s(1200℃-1700℃) | |
石墨坩堝(易耗件) 1、高純石墨坩堝:外徑Ø40mm,內(nèi)徑Ø37.1mm,高100.5mm(可選購SiC涂層,涂在坩堝內(nèi)部,以提高金屬熔煉時的潔凈度) 2、容量:樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2
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石英管和密封法蘭 1、石英管:外徑Ø100mm,內(nèi)徑Ø92mm,長355mm 2、頂部法蘭:不銹鋼法蘭,裝有不銹鋼針閥,設(shè)有1個鎧裝接口(可插入熱電偶至石英管內(nèi)部,更準(zhǔn)確地測量樣品溫度) 3、底部法蘭:設(shè)有不銹鋼針閥和KF25接口(可通過波紋管與真空泵相連接) | |
水冷機 1、溫度:5℃-30℃ 2、水流速:16L/min 3、水箱容積:12L,采用不銹鋼制作 (建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到的冷卻效果) | |
真空泵 1、工作電壓:AC208V-240V單相 2、抽氣速率:120L/min 3、極限真空度:10-2torr (為了獲得更高的真空度以達(dá)到更好的熔煉效果,可選購渦旋分子泵,真空度可達(dá)10E-5torr) | |
注意事項 | 操作前,必須仔細(xì)閱讀說明書,且操作人員需帶防護面罩。使用時,熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行,流量小于200ml/min,需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內(nèi)的氣壓,若氣壓超過安 全值,會引起石英管開裂、法蘭蹦出,甚至造成人身傷害。 |
其他事項 | 本機可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng)。請參看下圖。
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