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SGC-10薄膜測(cè)厚儀

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SGC-10薄膜測(cè)厚儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：SGC-10薄膜測(cè)厚儀，適用于介質(zhì)，半導(dǎo)體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測(cè)量。該薄膜測(cè)厚儀，是與美國(guó)new-span公司合作研制的，采用new-span公司*的薄膜測(cè)厚技術(shù)，基于白光干涉的原理來(lái)測(cè)定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)（折射率n，消光系數(shù)k）。它通過(guò)分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜，用相應(yīng)的軟件來(lái)擬合運(yùn)算，得到單層或多層膜系各層的厚度d，折射率n，消光系數(shù)k。

產(chǎn)品型號(hào)	SGC-10薄膜測(cè)厚儀
主要特點(diǎn)	1、非接觸式測(cè)量，用光纖探頭來(lái)接收反射光，不會(huì)破壞和污染薄膜； 2、測(cè)量速度快，測(cè)量時(shí)間為秒的量級(jí)； 3、可用來(lái)測(cè)薄膜厚度，也可用來(lái)測(cè)量薄膜的折射率n和消光系數(shù)k； 4、可測(cè)單層薄膜，還可測(cè)多層膜系； 5、可廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)，半導(dǎo)體，液晶等透明半透明薄膜材料； 6、軟件的材料庫(kù)中整合了大量材料的折射率和消光系數(shù)，可供用戶參考； 7、內(nèi)嵌微型光纖光譜儀，結(jié)構(gòu)緊湊, 光纖光譜儀也可單獨(dú)使用。 8、強(qiáng)大的軟件功能：界面友好，操作簡(jiǎn)便，用戶點(diǎn)擊幾下鼠標(biāo)就可以完成測(cè)量。便捷快速的保存、讀取測(cè)量得到的反射譜數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)處理功能強(qiáng)大，可同時(shí)測(cè)量多達(dá)四層的薄膜的反射率數(shù)據(jù)。一次測(cè)量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學(xué)常數(shù)等數(shù)據(jù)。材料庫(kù)中包含了大量常規(guī)的材料的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)。用戶可以非常方便地自行擴(kuò)充材料數(shù)據(jù)庫(kù)。 9、儀器具有開放性設(shè)計(jì)，儀器的光纖探頭可很方便地取出，通過(guò)儀器附帶的光纖適配器（如圖所示）連接到帶C-mount適用于微區(qū)（>10μm，與顯微鏡放大率有關(guān)）薄膜厚度的顯微鏡（顯微鏡需另配），就可以使本測(cè)量?jī)x測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)	1、厚度范圍： 20nm-50um（只測(cè)膜厚），100nm-25um（同時(shí)測(cè)量膜厚和光學(xué)常數(shù)n，k），根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同。 2、準(zhǔn)確度： <1nm或<0.5% 3、重復(fù)性： 0.1nm 4、波長(zhǎng)范圍： 380nm-1000nm 5、可測(cè)層數(shù)： 1-4層 6、樣品尺寸：樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm 7、測(cè)量速度： 5s-60s 8、光斑直徑： 1.2mm-10mm可調(diào) 9、樣品臺(tái)： 290mm*160mm 10、光源：長(zhǎng)壽命溴鎢燈（2000h） 11、光纖：純石英寬光譜光纖 12、探測(cè)器：進(jìn)口光纖光譜儀 13、電源：AC110V-240V，50HZ-60HZ
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：300mm300mm350mm，重量：18kg