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微小氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間：2023-01-17 09:47:14瀏覽次數(shù)：922次

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詳細(xì)介紹

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微小氣體流量計(jì)工作原理

AX10FD系列氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金RTD絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316不銹鋼包裝殼內(nèi)。

微小氣體流量控制器的詳細(xì)參數(shù)：

1 量程范圍（20,30,50,100,200,300,500）SCCM

（0~1,2,3,5,10） SLM

2 準(zhǔn)確度 +1.5%F.S

3 線性 +0.5~1.5%F.S

4 重復(fù)精度 +0.2%F.S

5 響應(yīng)時(shí)間電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec

6 工作壓差 0.1~0.5MPa

7 耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa

8 工作環(huán)境溫度 0~70℃

9 數(shù)字量 RS485 MODBUS協(xié)議

10 模擬量 DC0~5V，4~20mA可選