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單靶等離子濺射儀

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更新時(shí)間：2023-07-08 17:39:40瀏覽次數(shù)：143次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

單靶等離子濺射儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱：	單靶等離子濺射儀

儀器型號(hào)：	BO.28-1100X-SPC-16

產(chǎn)地：	國(guó)產(chǎn)

關(guān)鍵字：	單靶等離子濺射儀

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：	單靶等離子濺射儀是一種已經(jīng)通過(guò)CE認(rèn)證的緊湊型等離子濺射儀。用于金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜。樣品直徑可達(dá)50mm,鍍膜厚度可達(dá)300埃。特別適用于SEM樣品的鍍膜。本品包括真空泵和預(yù)置一個(gè)金靶。
主要特點(diǎn)：	單靶等離子濺射儀主要特點(diǎn)如下： 1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)； 2. 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體 3. 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現(xiàn)象； 4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用； 5. 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
技術(shù)參數(shù)：	單靶等離子濺射儀主要技術(shù)參數(shù)： 1、輸入電源：220V，總功率小于2000W(包括真空泵)； 2、樣品室尺寸：直徑160mm,高度120mm; 3、樣品臺(tái)：直徑50mm,可以同時(shí)給8個(gè)SEM樣品鍍膜，樣品臺(tái)高度可調(diào)。均勻鍍膜區(qū)域?yàn)橹睆?/span>45mm; 4、氣氛控制：針閥控制氣體流量，已取得更好的鍍層效果; 5、外形尺寸：長(zhǎng)400mmx寬300mmx高400mm; 6、凈重：約30公斤； 7、保質(zhì)期和證書(shū)：1年保質(zhì)期及CE認(rèn)證證書(shū)。
產(chǎn)品規(guī)格：
標(biāo)準(zhǔn)配件：
可選配件：	金、銦、銀、鉑等各種靶材