當(dāng)前位置：深圳市中圖儀器股份有限公司>>光學(xué)3D表面輪廓儀>>光學(xué)輪廓儀，大尺寸三維微觀形貌測量儀SuperViewW3

光學(xué)輪廓儀，大尺寸三維微觀形貌測量儀SuperViewW3

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SuperViewW3

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-02-08 09:04:19瀏覽次數(shù)：438次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  光學(xué)3D表面輪廓儀

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：92條

所在地區(qū)：

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

SuperViewW3光學(xué)輪廓儀主要是以非接觸的掃描方式來實(shí)現(xiàn)針對樣品表面的高重復(fù)精度的3D測量，獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)

詳細(xì)介紹

SuperViewW3光學(xué)輪廓儀主要是以非接觸的掃描方式來實(shí)現(xiàn)針對樣品表面的高重復(fù)精度的3D測量，獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求高的半導(dǎo)體、光學(xué)加工、3C玻璃屏、薄膜制備、微納器件、納米材料等工業(yè)企業(yè)領(lǐng)域，以及高校、科研院和計(jì)量機(jī)構(gòu)等研究、檢測型單位。

產(chǎn)品功能

1) 樣件測量能力：滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量；
2) 自動測量功能：自動單區(qū)域測量功能、自動多區(qū)域測量功能、自動拼接測量功能；
3) 編程測量功能：可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟，結(jié)合自動測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵測量；
4) 數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5) 數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
6) 批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；

作為大尺寸三維微觀形貌測量儀，SuperViewW3光學(xué)輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為300*300mm，真空吸附盤能檢測12寸及以下尺寸的Wafer；氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì)，能確保儀器在千級車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動干擾，穩(wěn)定工作。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)ｍ?xiàng)產(chǎn)品功能

1）同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測量，并可一鍵實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓；
2）具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能，能夠一鍵測量數(shù)十個小區(qū)域的粗糙度求取均值；
3）具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量，覆蓋從1nm~1mm的測量范圍，實(shí)現(xiàn)高精度測量；

SuperViewW3光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

關(guān)鍵詞：光學(xué)輪廓儀輪廓儀