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光動激光干涉儀精密測量SJ6000中圖儀器（chotest）

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更新時間：2023-04-18 15:42:45瀏覽次數(shù)：489次

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000光動激光干涉儀因為采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，所以可以實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級分辨率的精密測量，是集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體的國產(chǎn)激光干涉儀

詳細介紹

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000光動激光干涉儀因為采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，所以可以實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級分辨率的精密測量，是集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體的國產(chǎn)激光干涉儀。

SJ6000光動激光干涉儀線性測量
原理：邁克爾遜干涉原理
1、從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；
2、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；
3、角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離，將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。

線性測量的光路原理構(gòu)建圖

產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便

線性測量配置
配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。