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更新時(shí)間:2023-04-22 18:27:05瀏覽次數(shù):174次
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二、產(chǎn)品特點(diǎn):
MF5706熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量;傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了流量計(jì)的高精度計(jì)量;在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高;各種連接方式,易于安裝與使用;輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù),也可通氣體質(zhì)量流量計(jì)是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列流量計(jì)適用于各類清潔、干燥氣體。的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)并配以多種信號(hào)輸出,通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對流量計(jì)的靈活配置與參數(shù)查詢。
MF5706熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。MF5706熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí),在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí),氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場的分布,形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。流量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào),由一個(gè)專門的電路變送器對此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同,因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
三、技術(shù)參數(shù):
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