1.采用自主研發(fā)第三代AFC/EPC氣路控制模塊，壓力控制精度0.001psi；壓力、流量、線速度多模式可選；獨(dú)立的分流冷阱和隔墊捕集阱設(shè)計(jì)，增強(qiáng)型分流冷阱，吸附容量進(jìn)一步提升；極盡簡潔的氣路連接設(shè)計(jì)，全氣路無轉(zhuǎn)接管路連接； 2. 快速溫度控制平臺，柱箱選配快速降溫裝置，可實(shí)現(xiàn)450-50℃≤3.5min快速降溫； 3. 自主知識產(chǎn)權(quán)-縱向壓扣式毛細(xì)柱進(jìn)樣口，進(jìn)樣口襯管整體維護(hù)時(shí)間≤10S，快速維......

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