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武漢鑫卓雅科技發(fā)展有限公司
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更新時間：2023-07-24 17:27:15瀏覽次數(shù)：171次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線該鍍膜機可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬ZrN、TiCN、TiAlN等硬質(zhì)或裝飾涂層，具有鍍膜速度快、膜層質(zhì)量好的優(yōu)點
該鍍膜機可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質(zhì)或裝飾涂層，具有鍍膜速度快、膜層質(zhì)量好的優(yōu)點。
◆真空室：鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm；箱式、前開門結構；
◆抽氣系統(tǒng)：機械泵：前級泵70L/S；維持泵：2X-8旋片泵；羅茨泵：ZJP-150；
擴散泵：KT-500 ；分子泵: FF250/1600（選配）；
◆極限真空：5×10-4Pa；恢復真空：5×10-3 Pa（小于20min）；
◆鍍膜系統(tǒng)：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；
◆ 輔助鍍膜系統(tǒng)：脈沖偏壓電源，條形離子源（選配）；
◆ 膜厚測量系統(tǒng)：石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)（選配）；
◆ 進氣系統(tǒng)：自動壓強控制+多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)；
◆操作方式：手動按鍵式；控制系統(tǒng)配置：研華工控機，80G硬盤，512內(nèi)存+日本三菱PLC；10英寸液晶顯示觸 摸屏界面；
◆ 旋轉夾具：公轉/自轉夾具，速度從 0～15r/min 無級可調(diào)；
◆ 工件烘烤：室溫～300℃；
◆ 供電電源: 三相380V，50Hz。
◆ 特殊規(guī)格可定制。
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