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長沙沛鈺進出品貿(mào)易有限公司


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雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304（大學(xué)城辦事處)查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-02-28 09:36:07瀏覽次數(shù)：129次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：487條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304（大學(xué)城辦事處)

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳情型號：OTF-1200X-PESDFG-50產(chǎn)品概述：OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng)，連接循環(huán)手套箱

詳細介紹

產(chǎn)品詳情

型號：OTF-1200X-PESDFG-50

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng)，連接循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與循環(huán)手套箱連接，可利用CVD方法，將樣品處理后直接移入到氣氛保護環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在實驗室中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

免責(zé)聲明： 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實物的偏差，請勿復(fù)制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細信息及更多參數(shù)，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，請勿將此參數(shù)用于招標文件或者合同，公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。
技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)＆循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶實驗室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接；

? 兩個爐體在一個滑軌上，可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果。

加熱爐參數(shù)

? 連續(xù)工作溫度：1100℃

? 兩個爐體都可設(shè)置30段升降溫程序

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

? 電源：AC220，50Hz   功率：3KW


加熱爐圖.jpg       溫控儀表.JPG

手套箱參數(shù)

? 帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm

? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接


手套箱照片.jpg

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-500W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-100W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

射頻頻率

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg
真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg

產(chǎn)品尺寸

? 爐體尺寸：1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H)

? 手套箱尺寸：780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H)

爐子尺寸.jpg    手套箱尺寸圖.jpg

認證

? CE認證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證


圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

關(guān)鍵詞：手套箱 真空泵 流量計

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