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GSL-1100X-SPC16-3 3靶等離子濺射儀

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產(chǎn)品簡介

GSL1100X-SPC16-3等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)

詳細(xì)介紹

GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)。本機(jī)是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。它的特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)設(shè)計(jì)安裝了三個(gè)靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備，及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。

技術(shù)參數(shù)

電源電壓	220V , 50/60 Hz
輸出功率	< 2000W (including pump) 離子電流表：電流：50mA 定時(shí)器：最長時(shí)間900s
輸出電壓(DC)	1600V
樣品室	石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height
樣品載物臺	一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個(gè)位置濺射面積: 45 mm
配件	120 L/m的雙旋片式機(jī)械真空泵，進(jìn)行抽真空進(jìn)氣口處安裝有儲氣球，防止泵油的回流，排氣口安裝有立式油污過濾器，可以過濾真空泵在工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，和保護(hù)環(huán)境，和人體健康不銹鋼波紋管與 KFD-25接口相連用高純度金箔靶系統(tǒng)需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶，但我們不提供
可通入氣體	多種氣壓：-1600（-3000）DCV 微型真空氣閥：可連接Φ3mm軟管
靶材	標(biāo)配靶材: Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs 可選靶材 Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea
設(shè)備特點(diǎn)	配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用；根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
外形尺寸	400mm × 300mm × 400mm（L×W×H）
凈重	50 kg
質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證	一年質(zhì)保期，終身維護(hù)