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愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600N 干式泵

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iGX干泵真空系統(tǒng)愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600N干式泵iGX干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)現(xiàn)代干泵樹(shù)立了新標(biāo)準(zhǔn)；這使其成為了世界上Z受歡迎的干泵之一，目前已在大多數(shù)的300mm工廠中安裝了20,000套以上

詳細(xì)介紹

iGX 干泵真空系統(tǒng) 愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX600N 干式泵
iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)現(xiàn)代干泵樹(shù)立了新標(biāo)準(zhǔn)；這使其成為了世界上Z受歡迎的干泵之一，目前已在大多數(shù) 的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具接口和以太網(wǎng)連接，允許通過(guò)網(wǎng)頁(yè)查看主要數(shù)據(jù)，同時(shí)包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)，可確保泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載制程。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對(duì) iGX 干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝選項(xiàng)，包括工具上、近程和遠(yuǎn)程操作。
通過(guò)使用 iGX 干泵技術(shù)，整個(gè)工廠通?？梢栽谠O(shè)施成本方面實(shí)現(xiàn) 40%* 的節(jié)省（與 iL/iH 干泵相比）。
*基于包含 200 個(gè)工具、537 臺(tái)泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國(guó)工廠。
應(yīng)用
目標(biāo)應(yīng)用包括：
客戶也將 iGX 用于一系列清潔和輕負(fù)載應(yīng)用。
主要特性和優(yōu)勢(shì)

低功耗和零預(yù)防性維護(hù)，可降低擁有成本
小巧輕便，可使用靈活的安裝選項(xiàng)
高性能電機(jī)和變頻器驅(qū)動(dòng)裝置
待機(jī)模式使用環(huán)保模式，功耗更低
高導(dǎo)熱性材料和優(yōu)良設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)低水流量和高效冷卻 - 那又怎么樣？
精密陶瓷軸承可確保高負(fù)載容量，因而更加可靠
低振動(dòng)和小于 55 dB(A) 的低噪聲，可以安裝在操作中同附近
PVD
電介質(zhì)刻蝕
導(dǎo)體刻蝕
金屬刻蝕
植入源

概述

iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹(shù)立了新標(biāo)準(zhǔn)。效率提高的同時(shí)降低了運(yùn)行成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。

iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過(guò)網(wǎng)頁(yè)查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)，可確保泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載的各種工藝。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對(duì) iGX 干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項(xiàng)。

應(yīng)用

負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
硅腐蝕
金屬腐蝕

iGX600N 干式泵 200-230V 50/60 Hz

A

iGX600N 干式泵 380-460V 50/60 Hz

A

功能和優(yōu)勢(shì)

低運(yùn)行成本

與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本Z多可降低 50%
無(wú)需預(yù)防性維護(hù)

靈活的安裝選項(xiàng)

小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠(yuǎn)程

可以改進(jìn)工具吞吐量

可用的Z快的負(fù)載鎖定泵之一

全程一致的泵送性能

在 50 和 60 Hz 下抽速相同

降低了環(huán)境噪音

僅 55 dB(A)

峰值速度范圍寬

100、300、600 和 800 m3h-1

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度	620 m3h-1
	365 cfm
	10333 l min-1
極限壓力	7.00E-04 mbar
	5.25E-04 Torr
	0.07 Pa
700 Torr 排氣壓力下的極限
極限	1.6 kW
AUC（有源設(shè)備控制器）	0.05 kW
水入口*	2 slm
氮	4 或 14 slm
占地面積（不包括排氣裝置）	0.20 m2
重量	220 kg
進(jìn)氣口連接	ISO100
出口連接	NW25
極限噪音	< 55 dB(A)