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塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司


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光譜橢偏儀FE-5000 / 5000S

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品       牌

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所  在  地

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更新時(shí)間:2022-12-21 16:03:52瀏覽次數(shù):655次

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商鋪產(chǎn)品:256條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:黃羅龍

產(chǎn)品簡介

簡單介紹: 除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的橢圓偏振光譜儀之外,我們還通過實(shí)現(xiàn)自動可變測量機(jī)制來支持所有類型的薄膜。除了常規(guī)的旋轉(zhuǎn)光子檢測器方法之外,通過為延遲板提供自動連接/分離機(jī)制,還提高了測量精度。

詳細(xì)介紹

詳情介紹:
特殊長度
  • 可以在紫外可見光(300-800 nm)波長范圍內(nèi)測量橢偏參數(shù)。
  • 可以進(jìn)行納米級的多層薄膜厚度分析
  • 通過多通道光譜儀可快速測量橢圓偏振光,可測量400通道或更多通道
  • 通過可變反射角測量支持對薄膜的詳細(xì)分析
  • 通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫并添加配方注冊功能來提高可操作性。

測量項(xiàng)目
  • 橢偏參數(shù)(tanψ,cosΔ)測量
  • 光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析
  • 膜厚分析

測量目標(biāo)
  • 半導(dǎo)體晶片
    柵極氧化物薄膜,氮化物膜
    SiO 2,Si x O y,SiN,SiON,SiN x,Al 2 O 3,SiN x O y,多晶硅,ZnSe,BPSG,TiN的
    光學(xué)常數(shù)(波長色散)抵抗
  • 化合物半導(dǎo)體
    Al x Ga (1-x)作為多層膜,非晶硅
  • FPD
    取向膜
  • 各種新材料
    DLC(類金剛石),超導(dǎo)薄膜,磁頭薄膜
  • 光學(xué)薄膜
    TiO 2,SiO 2,減反射膜

  • 在每個(gè)波長下的光刻場n,k評估,例如g線(436 nm),h線(405 nm),i線(365 nm)

  • 產(chǎn)品信息
  • 原則
  • 規(guī)格
  • 測量例

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