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CS200H質(zhì)量流量控制器&流量計

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更新時間：2022-11-03 16:12:24瀏覽次數(shù)：131次

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北京七星華創(chuàng)流量計有限公司

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產(chǎn)品簡介

CS200H氣體質(zhì)量流量控制是七星流量計生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品，其電氣和機(jī)械部分采用分體式的設(shè)計，通過高溫線纜連接，可以實(shí)現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作，能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體測量需求。

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢

• 控制器工作溫度：90~120℃。
• 高控制精度：產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速響應(yīng)，響應(yīng)時間≤ 0.8sec。
• 采用恒功率傳感器原理，在溫度變化時進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。
• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品尺寸符合國際通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)，RS485，DeviceNet通訊方式。

技術(shù)參數(shù)

CS200
型號	CS200-H
閥類型	常閉	無
流量規(guī)格(N2)	(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準(zhǔn)確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時間	≤ 1sec
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa
工作壓力	0.45MPa
溫度系數(shù)	零點(diǎn): ≤±0.1% F.S./℃；調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S./℃
耐壓強(qiáng)度	3MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金屬密封
工作環(huán)境溫度	質(zhì)量流量控制器/流量計:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃
輸入信號	數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA	無
輸出信號	數(shù)字:RS485或 DeviceNet 模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA
零漂	在沒有零點(diǎn)校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃）
表面粗糙度	10 Ra
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套φ6；雙卡套1/4；VCR1/4陽接頭；1.5´´C型密封接頭 1.5´´ W型密封接頭
電源接頭形式	D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭
連接高溫電纜	2m
重量	1.2Kg	1Kg