這是一款高級(jí)閥門流量計(jì),結(jié)合了高精度流量計(jì)和可精確控制流量的針閥。
該制品非常適用于計(jì)量控制微小流量。
- 可實(shí)現(xiàn)超小流量控制
- 使用精密針閥
- 下方閥門和上方閥門兩種類型
- 種類豐富
用途
- 用于整合設(shè)備
- 用于半導(dǎo)體相關(guān)的燃?xì)庠O(shè)備
- 用于生物工業(yè)
- 用于真空管路控制
使用示例
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
氣體 | 流體 | ||
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流體名稱 | Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(50 L/MIN以下為實(shí)際氣體校準(zhǔn)) 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn),實(shí)際氣體校準(zhǔn)請(qǐng)另行咨詢 ※選項(xiàng):2種流體刻度 | 標(biāo)準(zhǔn)流體(H2O) 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn) (但是,會(huì)產(chǎn)生與實(shí)際液體的誤差。) | |
流量范圍 | 0.5~5 ML / MIN至10~100 L / MIN(參考容量列表) ※選項(xiàng):0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.2~2 L / MIN(參考容量列表) ※選項(xiàng):0.5~3ML / MIN | |
精度 | FS±2%(計(jì)量點(diǎn))※選項(xiàng):FS±1%(計(jì)量點(diǎn)) | FS±2%(計(jì)量點(diǎn)) | |
耐壓 | 100ML / MIN以下:1.0MPa 5L / MIN以下:0.7MPa 10L / MIN以上:0.5MPa | 5ML / MIN以下:1.0MPa 150ML / MIN以下:0.7MPa 200ML / MIN以上:0.5MPa | |
有效刻度 | 10:1 ※選項(xiàng)20:1 |
材質(zhì) | SS制 | RS制 | |
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主體區(qū)塊 | SUS316 | 黃銅 | |
錐形管 | 硬玻璃 | ||
密封材料 | 氟橡膠 | NBR | |
浮標(biāo) | 硬質(zhì)玻璃,SUS316 | ||
保護(hù)罩 | 丙烯 | ||
使用溫度 | 60℃ | ||
連接端口 | Rc1 / 4(標(biāo)準(zhǔn)) |
容量列表
可選規(guī)格
- F.S. ±1%(計(jì)量點(diǎn))
- 0.5~3ML / MIN空氣(大氣壓)規(guī)格
注)全長為120mm的情況。 - 全氟醚橡膠O型圈規(guī)格
注)沒有用于關(guān)閉針部的O型圈。
注)氣體1L / MIN以下無過濾器。 - 雙刻度規(guī)格
- 20:1刻度規(guī)格