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行業(yè)產(chǎn)品

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天津瑞利光電科技有限公司


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AEROTECH空氣軸承直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)ABRS150MP

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產(chǎn)品型號(hào)ABRS150MP

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更新時(shí)間:2024-05-07 11:31:09瀏覽次數(shù):86次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹直接驅(qū)動(dòng),無(wú)槽,無(wú)刷伺服電機(jī)零齒槽電機(jī),出色的速度穩(wěn)定性出色的誤差運(yùn)動(dòng)和擺動(dòng)性能直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器薄型平面設(shè)計(jì)沒(méi)有機(jī)械接觸Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺(tái)以超薄的外形提供了角度定位,速度穩(wěn)定性和誤差運(yùn)動(dòng)性能

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

直接驅(qū)動(dòng),無(wú)槽,無(wú)刷伺服電機(jī)

零齒槽電機(jī),出色的速度穩(wěn)定性

出色的誤差運(yùn)動(dòng)和擺動(dòng)性能

直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器

薄型平面設(shè)計(jì)

沒(méi)有機(jī)械接觸

Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺(tái)以超薄的外形提供了角度定位,速度穩(wěn)定性和誤差運(yùn)動(dòng)性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查,高精度計(jì)量,X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴(yán)格要求。

緊湊包裝

ABRS系列直接驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的設(shè)計(jì)已經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可大程度地減少平臺(tái)高度。平臺(tái)的低矮外形降低了系統(tǒng)的有效工作高度,從而減少了與“堆積”有關(guān)的錯(cuò)誤。除了較低的總高度外,ABRS系列還提供了一個(gè)通孔,可用于產(chǎn)品直通,激光束傳輸,電纜間隙或特定應(yīng)用的要求。

機(jī)械設(shè)計(jì)

ABRS設(shè)計(jì)具有大的空氣軸承表面,具有很高的剛度和承載能力,不僅產(chǎn)生出色的軸向和徑向誤差運(yùn)動(dòng),而且產(chǎn)生出色的傾斜誤差運(yùn)動(dòng)。所產(chǎn)生的面誤差運(yùn)動(dòng)明顯優(yōu)于其他旋轉(zhuǎn)式空氣軸承工作臺(tái)和主軸,極大地受益于需要出色平面性能的應(yīng)用。

無(wú)刷直驅(qū)

為了更好的定位性能,ABRS系列采用了Aerotech的S系列無(wú)槽無(wú)刷電機(jī)。電機(jī)采用磁路設(shè)計(jì),可產(chǎn)生高扭矩輸出,而產(chǎn)生的熱量最少。無(wú)槽設(shè)計(jì)本質(zhì)上是零齒槽和無(wú)轉(zhuǎn)矩紋波。這使得ABRS位移臺(tái)非常適合需要低速或高速掃描速度的應(yīng)用。

準(zhǔn)確定位

光學(xué)編碼器是ABRS的標(biāo)準(zhǔn)配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時(shí),分辨率可達(dá)到<0.03弧秒。

定制設(shè)計(jì)

定制版本的ABRS可用于費(fèi)率表和慣性制導(dǎo)試驗(yàn)臺(tái)應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)

寬度:150 mm

桌面直徑:128.1 mm

高度:80 mm

孔徑:8 mm

總行程:360°連續(xù)

總線電壓:80 VDC

基本編碼器分辨率:3600行/轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速:max.300 rpm

精度:±3角秒

雙向重復(fù)性:<2弧秒

負(fù)荷

軸向:8 kg

徑向:4 kg

傾斜:3 N-m

軸向誤差運(yùn)動(dòng)(同步):<175 nm

徑向誤差運(yùn)動(dòng)(同步):<450 nm

傾斜誤差運(yùn)動(dòng)(同步):<9.7 µrad(<2.0弧秒)

軸向誤差運(yùn)動(dòng)(異步):<20 nm

徑向誤差運(yùn)動(dòng)(異步):<20 nm

傾斜誤差運(yùn)動(dòng)(異步):<0.4 µrad(<0.08弧秒)

工作壓力:80 psig(5.5 bar)+ 0 psig(0.0 bar)/-10 psig(0.7 bar)

空氣消耗:<56.6 SLPM(<2 SCFM)

材料:鋁

表面:硬涂層(62洛氏硬度)

慣性卸載:3850 kg-mm2

總質(zhì)量:4.8公斤


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