美國(guó)ALICAT LLF4系列質(zhì)量流量計(jì)-耐腐蝕 Alicat的LLF4系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可精確、快速測(cè)量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。LKF5系列質(zhì)量流量控制器通過(guò)定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。

詳細(xì)介紹

性能參數(shù)

性能/參數(shù)	LLF4系列質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍	0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等
標(biāo)定氣體	內(nèi)置130條氣體可選擇含腐蝕氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)
精度(調(diào)零后)	±(0.8%Rd+0.2%FS)
高精度(調(diào)零后)	±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
重復(fù)性	±0.2%FS
漂移(零點(diǎn)/滿量程)	0.02% F.S/oC/Atm
工作范圍	0.5-99%
響應(yīng)時(shí)間	10毫秒(調(diào)整)
啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間	1秒內(nèi)
標(biāo)準(zhǔn)工況	25oC & 14.696 psia，可自定義修改
工作溫度范圍	-10~-50℃(另有高溫訂制品)
工作濕度范圍	0-99%RH(非冷凝)
工作壓力	10Bar
壓差	5Bar
安裝方向	任意
閥門狀態(tài)	常閉
材質(zhì)	SUS316L不銹鋼、密封圈FFKM(Kalrez)
顯示屏	背光LCD顯示屏，同時(shí)顯示流量、壓力、溫度
數(shù)字信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模擬信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA
第二路模擬信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA
電氣接口	標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯選配:圓形6芯、DB9、DB15
供電電壓	+24VDC
消耗電流	100mA

電氣連接

針腳/顏色	定義
1針(黑色)	4-20MA輸出信號(hào)，如選擇0-5V/10V 連接6針
2針(棕色)	不用連接,如選第二路輸出信號(hào)可接
3針(紅色)	RS232 輸入串口RS232 輸入串口
4針(橘色)	遠(yuǎn)程清零
5針(黃色)	RS232 輸出串口
6針(綠色)	0-5V或0-10V輸出信號(hào)
7針(藍(lán)色)	+24VDC供電
8針(紫色)	接地(同時(shí)作用于電源、通訊、模擬)

備注：以上是標(biāo)配圓新8芯接線注解，其他接口

壓損、管路接口

流量	壓損(PSID),排放大氣中	接口
0.5-1SCCM	1.0	1/8NPT母螺紋
2-50SCCM	1.0
100SCCM-20SLPM	1.0
50SLPM	2.0	1/4NPT母螺紋
100SLPM	2.5	1/4NPT母螺紋
250SLPM	2.1	1/2NPT母螺紋
500SLPM	4.0	3/4NPT母螺紋
1000SLPM	6.0
1500SLPM	9.0
2000SLPM	5.0
3000SLPM	7.1	1-1/4NPT母螺紋
4000SLPM	2.7	2"NPT母螺紋
500SLPM	3.4	2"NPT母螺紋