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廣州安特激光技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2024-05-24 08:53:54瀏覽次數(shù)：53次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線產(chǎn)品介紹：SRM通過測(cè)量反射光譜,結(jié)合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜厚度均勻性及其光學(xué)特性
產(chǎn)品介紹：
SRM通過測(cè)量反射光譜,結(jié)合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜厚度均勻性及其光學(xué)特性。如果在低預(yù)算的情況下需要對(duì)已知膠片或簡(jiǎn)單膠片進(jìn)行快速、常規(guī)、日常測(cè)量，那么SRM系列是的選擇。
tfprobe系列光譜反射映射工具，具有許多特點(diǎn)，如長(zhǎng)工作距離，工作距離可調(diào)的，對(duì)于不同的晶圓尺寸應(yīng)用的各個(gè)階段，可選擇的光源和可調(diào)光源強(qiáng)度等。
產(chǎn)品參數(shù)：
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注意：
1，系統(tǒng)配置和規(guī)格如有變更，恕不另行通知
2，膜性質(zhì)、表面質(zhì)量和層堆疊不是獨(dú)立的
3，可定制用于應(yīng)用的系統(tǒng)
4，TFProbe是Angstrom Sun Technologies Inc注冊(cè)商標(biāo)
主要應(yīng)用： 1.光刻膠，聚酰亞胺，氧化物，氮化物 2.光學(xué)涂層，TiO2，SiO2，Ta2O5 ... 3.半導(dǎo)體化合物，細(xì)胞間隙 4. MOEMS中的功能性薄膜 5.薄膜晶體管（TFT）堆疊 6.導(dǎo)電氧化物：氧化銦錫 7.上的涂料 8.非晶，納米和結(jié)晶膜 |
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