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JEM-ARM200F NEOARM 原子級分辨率透射電子顯微鏡

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更新時間:2023-02-26 16:13:20瀏覽次數(shù):307次

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產(chǎn)品簡介

簡介NEOARM標(biāo)配了日本電子獨自開發(fā)的冷場發(fā)射電子槍(Cold-FEG)和全新的高階球差校正器(ASCOR)

詳細(xì)介紹

簡介

“NEOARM” 標(biāo)配了日本電子獨自開發(fā)的冷場發(fā)射電子槍(Cold-FEG)和全新的高階球差校正器(ASCOR)。無論是在200kV的高加速電壓還是在30kV的低加速電壓下,均能實現(xiàn)原子級分辨率的觀察與分析。同時還配備了自動像差校正系統(tǒng),采用日本電子獨自開發(fā)的像差校正算法,可以自動進(jìn)行快速準(zhǔn)確的像差校正。由此實現(xiàn)了高通量的原子級分辨率成像。此外,新型STEM檢測器不依賴于加速電壓就可以獲得高襯度的輕元素圖像。因此,利用能增強(qiáng)輕元素襯度的新STEM成像技術(shù)(e-ABF法)可以更加簡便地觀察到含有輕元素樣品的高清晰(襯度)圖像。為了響應(yīng)近來已成為主流的遠(yuǎn)程操作的需求,NEOARM的電鏡室和操作室實行了分離式,主機(jī)使用了JEOL的新概念顏色—純白色和JEOL銀色,設(shè)計精煉時尚。

主要特點: 

·球差校正器ASCOR(Advanced STEM Corrector)

·“NEOARM”配備的新型球差校正器ASCOR能夠校正高階像差(即6重像散,目前阻礙透射電鏡分辨率進(jìn)一步提高的障礙。),ASCOR和Cold-FEG的組合實現(xiàn)了從高加速電壓到低加速電壓下的高分辨率。

·自動像差校正軟件JEOL COSMO™(Corrector System Module)

·JEOL COSMO™采用了全新像差校正算法(SRAM:Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix),校正像差不需要交換標(biāo)準(zhǔn)樣品也可以快速精確地校正至高階像差。與采用傳統(tǒng)校正算法的系統(tǒng)相比,JEOL CMSMO™能夠高速處理數(shù)據(jù),并且使操作進(jìn)一步自動化。因此,客戶在工作流程中可以簡便高效地進(jìn)行高分辨率觀察及各種元素分析。

·新ABF(Annular Bright Field)檢測器系統(tǒng)

·ABF檢測器作為高分辨觀察輕元素的有效手段已被廣泛使用。“NEOARM”支持能增強(qiáng)輕元素襯度的新ABF成像技術(shù)(e-ABF:enhanced ABF),實現(xiàn)了對含有輕元素樣品的原子級結(jié)構(gòu)的觀察。

·Perfect sight檢測器

·STEM系統(tǒng)標(biāo)配的Perfect sight檢測器作為混合檢測器,采用了由不同材料制成的閃爍器。該檢測器具有的寬電壓適應(yīng)性,不依賴于加速電壓始終都可以獲得高襯度的STEM圖像,并可用于定量STEM的分析研究工作。

· Viewing Camera系統(tǒng)

·“NEOARM”標(biāo)配的Viewing Camera系統(tǒng)是以遠(yuǎn)程操控為前提而設(shè)計的利用雙相機(jī)觀察圖像的系統(tǒng)。此系統(tǒng)允許主機(jī)房和操作間分離,因此能夠靈活地安排操作環(huán)境。電鏡主機(jī)采用的純白色和JEOL銀色在室內(nèi)協(xié)調(diào)美觀,外觀設(shè)計精煉簡潔。

產(chǎn)品規(guī)格

 

分辨率*1

STEM HAADF 圖像: 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)160 pm (30 kV)
TEM 信息分辨率: 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)250 pm (30 kV)

電子槍

標(biāo)配冷場電子槍

球差校正器

STEM: NEO ASCOR HOAC*2、TEM: CETCOR with DSS*3

校正器自動合軸系統(tǒng)

日本電子NEO JEOL COSMO™ 自動合軸系統(tǒng)、Ad-hock合軸(SIAM)

加速電壓

30 ~ 200 kV( 標(biāo)配30、80、200 kV;選配60、120 kV)

無磁場模式

標(biāo)配洛倫茲模式、放大倍數(shù) ( ×50 ~ 80 k熒光屏為參考面)

樣品移動系統(tǒng)

X,Y,Z 軸高精度機(jī)械驅(qū)動、標(biāo)配超高精度壓電陶瓷驅(qū)動

操作類型

RDS*4 操作模式*4 

*1 裝配UHR(超高分辨率)極靴與STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高階球差校正器)
*3 DSS(DeScan系統(tǒng))
*4 RDS(安裝室分隔式)

 

 

 

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