國產小型等離子清洗機/等離子清洗機價格/北京 DJY-4A小型等離子清洗機
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華儀行（北京）科技有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產品型號
品 牌
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更新時間：2023-08-06 09:03:11瀏覽次數(shù)：230次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計，并可自動切換，一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。主要參數(shù)：CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計，并可自動切換，一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用......
產品特點
v 雙等離子清洗源
v 一機多用
v 高效低損傷
技術參數(shù)
產品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調，自動匹配器 |
氣體控制 | 標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器（MFC），精確測量自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求可選擇氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質量保證 | 二年質保，終身維護 |
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