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晶體生長爐

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產(chǎn)品型號藍寶石晶體生長設(shè)備

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更新時間：2022-11-08 14:45:32瀏覽次數(shù)：296次

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東莞燕園半導(dǎo)體科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡單介紹晶體生長爐、晶體生長爐

詳細介紹

在傳統(tǒng)的直拉法生產(chǎn)單晶材料時，生產(chǎn)設(shè)備存在自動化程度低，投料量少、設(shè)備功能單元布局不合理等一系列問題，從而導(dǎo)致單晶生產(chǎn)中人工勞動強度大、單位產(chǎn)能與品質(zhì)低，成本高等一系列問題。隨著社會的進步，市場對新一代單晶生產(chǎn)設(shè)備轉(zhuǎn)向自動化程度高、投料量大、單位時間產(chǎn)能高、能耗低等方面。針對這些需求，爐壓自動控制技術(shù)、CCD非接觸測量技術(shù)、爐體恒溫控制技術(shù)的發(fā)展的進一步要求也是自動化；大爐體，高副室，旋板閥，水冷屏等的技術(shù)改進，是提高投料量與產(chǎn)能的必要方式。當投料量與產(chǎn)能達到一定程度時，副室的高度會進一步增加，因此坩堝托盤與提拉頭的動平衡問題會日漸突出，如何保證兩大低頻非規(guī)則運動部件的動平衡將會是一大挑戰(zhàn)。

NVT-HG型單晶爐可實現(xiàn)生長過程的全自動控制，爐壓全自動控制，采用CCD測量技術(shù)，此外還以其大裝爐量、高生產(chǎn)效率、低能量消耗，為客戶帶來額外利益。

應(yīng)用領(lǐng)域

? 直拉法晶體提純

? 直拉法多晶生長

? 直拉法單晶生長

? 目前主要用于單晶硅棒的生產(chǎn)制造

適用工藝

爐壓自動控制、CCD非接觸測量、自動旋板閥、下排氣流線型管路等

產(chǎn)品優(yōu)勢