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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)JS-HMDS
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時(shí)間:2024-05-04 17:59:41瀏覽次數(shù):113次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS真空烘箱技術(shù)參數(shù):
電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率:2400W
控溫范圍:RT+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動(dòng)度:±0.5℃
達(dá)到真空度:133Pa
容積:90L
工作室尺寸(mm):450*450*450
載物托架:2塊
時(shí)間單位:min
二、HMDS真空烘箱特點(diǎn):
1、 采用科研級(jí)不銹鋼316L材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L;加熱器均勻分布在內(nèi)膽
外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀
察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、 箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。
3、 微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫
精確,可靠。
4、 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套進(jìn)口PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,
溫度,真空度及每一程序時(shí)間。
5、 HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無(wú)外
漏顧慮。
6、 整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造,無(wú)發(fā)塵材料,適用100 級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
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