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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時間:2024-06-11 09:50:25瀏覽次數(shù):67次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂特點:超潔凈間用多軸型,4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機械手GCR4000-AM系列適用于支持300mm的半導體制造裝置內(nèi),檢查裝置等的晶圓搬運機械手臂標準臂長:210mm,280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式
4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂特點: |
超潔凈間用多軸型, 4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機械手GCR4000-AM系列 |
適用于支持300mm的半導體制造裝置內(nèi), 檢查裝置等的晶圓搬運 |
機械手臂標準臂長:210mm, 280mm |
機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP |
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運玻璃基板 |
AC伺服電機的采用以及,對運動軌跡的優(yōu)化實現(xiàn)了搬運動作的高速化 |
比GHR4000類型速度快了1.8倍 |
晶圓固定方式:真空吸附式, 下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式 |
手指材質(zhì):CFRP(碳纖維), 鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指 |
4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂基本參數(shù): |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離) |
升降軸行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬運質(zhì)量 | 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準) |
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