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4軸機械臂防水式4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂

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更新時間：2024-06-12 08:17:35瀏覽次數(shù)：32次

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防水4軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂特點：防水4軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂STWCR4000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)+邊緣夾持機構(gòu)）能夠在酸性

詳細介紹

防水4軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂特點：

防水4軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂STWCR4000系列（配備300 mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)+邊緣夾持機構(gòu)）

能夠在酸性，堿性霧氣環(huán)境下搬運半導(dǎo)體晶圓

機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：160 mm、200 mm

手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈

零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條

Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管

雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式

可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供的手指

防水4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂	雙臂
到達距離	315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸行程	300mm
可搬運質(zhì)量	3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))

如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們

關(guān)鍵詞：監(jiān)視器步進電機



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