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3軸機械臂真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂

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更新時間：2024-06-12 08:18:38瀏覽次數(shù)：35次

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂特點：真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3000系

詳細(xì)介紹

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂特點：

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運

相比SVHR系列機械手臂，可搬運質(zhì)量提升2倍，具有較好的性價比優(yōu)勢

另外還保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性，方便客戶對設(shè)備進行升級改造

機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置

真空密封：磁流體密封裝置和波紋管

提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級過濾器

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓

可以選配2相步進電機規(guī)格

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式

可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供的手指

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	真空部：溫度 15℃～50℃ 驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部：潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境溫度 15℃～40℃
手臂	單臂
到達(dá)距離	520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸行程	20mm / 40mm
可搬運質(zhì)量	2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))