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更新時(shí)間:2023-02-13 11:19:47瀏覽次數(shù):281次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 環(huán)保在線設(shè)備簡述/EquipmentBrief 連續(xù)裝載多弧離子鍍膜和磁控濺射鍍膜
設(shè)備簡述/Equipment Brief
安裝尺寸 | W4200×L8000×H4600mm | 腔體尺寸 | W1300×L1300×H1500mm |
裝載 | 10 軸自轉(zhuǎn)Ф150×H890mm | 多弧源 | 6×Ф100 弧源, 1號腔體 |
濺射 | 8×Ф70圓柱陰極 | 真空范圍 | ATM-6X10-4 Pa |
離子清洗 | 偏壓清潔,腔體1
| 真空隔離 | 插板閥 ,W720×H1100 |
鍍膜節(jié)拍 | 30-60分/批次 | 電源 | 380V 50Hz |
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