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SE-VM光譜橢偏儀

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更新時間:2023-02-04 10:08:23瀏覽次數(shù):449次

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產(chǎn)品簡介

SE-VM是一款高精度快速測量光譜橢偏儀??蓪崿F(xiàn)科研/企業(yè)級高精度快速光譜橢偏測量,支持多角度,微光斑,可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設(shè)計。

詳細介紹

  • 一、概述

    SE-VM 是一款超高精度快速測量光譜橢偏儀,其采用行業(yè)的橢偏創(chuàng)新技術(shù),具備 1 雙旋轉(zhuǎn)補償器同步控制技術(shù)2 透明基底消背反技術(shù) 等技術(shù)。快速實現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度,微光斑,可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設(shè)計。

    ■ 高精度橢偏測量解決方案;

    ■ 超高精度、快速無損測量;

    ■ 支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制;

    ■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力。

    二、產(chǎn)品特點

    ■ 采用高性能進口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm),可支持擴展紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

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    高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置,實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集;

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    支持系列配置靈活,可根據(jù)不同應(yīng)用場景支持多功能模塊化定制;

    微信截圖_20180923101527.png

    數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;

    庫.png

    三、產(chǎn)品應(yīng)用

    廣泛應(yīng)用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測量應(yīng)用,實現(xiàn)光學(xué)薄膜、納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。

    微信截圖_20180923101857.png

    四、產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

    建議配件

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    Mapping.png

    ME-L0.png

    ME-L.png

    溫控臺Mapping擴展模塊真空泵透射吸附組件
  • 微信截圖_20180927213302.png

  • 關(guān)鍵詞:橢偏儀 補償器 真空泵
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