產(chǎn)品簡介:
OWT-200平整度測試系統(tǒng),采用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征,在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等,可在線和離線測量。
產(chǎn)品特點:
■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量;
■無接觸測量;
■無需校準;
■高精度、高重復性;
■樣品臺可選:4寸、6寸、8寸;
■強大的分析軟件,可顯示3D表面形貌;
■同時進行各種參數(shù)的測量,具備超高的測試速度;
技術參數(shù):
■TTV
■精確度:±0.1um
■重復性精度:0.01um■厚度
■精確度:±0.2um
■重復性精度:0.1um
■測試范圍:50-2000um■翹曲度/彎曲度
■精確度:0.5um
■重復性精度:0.2um
■測試范圍:200um■整機參數(shù)
■測量時間:<100秒
■測量尺寸:8寸
■尺寸:550*602*291mm
■整機功率:800W
典型客戶:
藍寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。