產(chǎn)品簡介：
    OWT-200平整度測試系統(tǒng)，采用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測量。
 
產(chǎn)品特點：
 ■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量；
 ■無接觸測量；
 ■無需校準；
 ■高精度、高重復性；
 ■樣品臺可選：4寸、6寸、8寸；
 ■強大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；
 ■同時進行各種參數(shù)的測量，具備超高的測試速度；
 
技術參數(shù)：
 ■TTV
     ■精確度：±0.1um
     ■重復性精度：0.01um
 ■厚度
     ■精確度：±0.2um
     ■重復性精度：0.1um
     ■測試范圍：50-2000um
 ■翹曲度/彎曲度
     ■精確度：0.5um
     ■重復性精度：0.2um
     ■測試范圍：200um
 ■整機參數(shù)
     ■測量時間：<100秒
     ■測量尺寸：8寸
     ■尺寸：550*602*291mm
     ■整機功率：800W
 
典型客戶：
藍寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。