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brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計

參   考   價: 20000

訂  貨  量: ≥1000 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號5850EMH / 5851EMH

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2023-04-21 11:22:10瀏覽次數(shù):476次

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測量范圍 12m3/h 類型 其他
brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹
5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性,為高溫氣體測量和控制提供了的性能,具有多種選擇,允許大的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器,其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。特點
高泄漏完整性(小

brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹

brooksinstrument高溫質(zhì)量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹

5850EMH 系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器結(jié)合出色的金屬密封泄漏完整性,為高溫氣體測量和控制提供了的性能,具有多種選擇,允許最大的應(yīng)用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器,其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

特點

  • 高泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)

  • 寬流速范圍(0.003 - 100 slpm)

  • 高純度 VAR 316L 不銹鋼

  • 無磨粒

  • 氦泄漏檢查端口

  • 常閉閥(可選常開閥)

  • 電致動閥復(fù)位

  • 低命令流量斷流

  • TTL 兼容"關(guān)閥"功能

優(yōu)勢

  • 穩(wěn)定、可靠的產(chǎn)品平臺

  • 高流量,高達 100 lpm(N2 當量)

  • 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏

  • 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應(yīng)用

  • 光纖制造——MCVD,OVD,AVD

  • 水汽流量控制

5850EMH5851EMH
流量范圍-滿量程容量3 sccm - 30 slm (N2 equivalent)10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度

±1% FS

±1% FS

重復(fù)性< ±0.25% of SP< ±0.25% SP
響應(yīng)時間-常閉

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

模擬通訊

0-5 Vdc

0-5 Vdc



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