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上海凱美特功能陶瓷技術(shù)有限公司


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膜厚測(cè)試儀器-橢偏儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：鄭先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-03-21 18:43:43瀏覽次數(shù)：256次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：9條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：鄭先生

產(chǎn)品簡介

本設(shè)備基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜，可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。

詳細(xì)介紹

一、目的

本設(shè)備基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜，可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征。

二、測(cè)量系統(tǒng)規(guī)格

SE-VM光譜橢偏儀技術(shù)參數(shù)

  1. 橢偏儀測(cè)頭規(guī)格：

  1. 光譜范圍：380-1000nm（可擴(kuò)展紅外波段至1650nm）

  2. 入射角：55/60/65/70/75°(斜入射，手動(dòng)變角)，90°(直通模式)

  3. 光斑大?。?/span>2-3mm，（可擴(kuò)展微光斑200μm）

  4. 重復(fù)性測(cè)量精度：0.01nm（100nm 硅基SiO2薄膜）

  5. 膜厚測(cè)量范圍：0.5nm-20μm

  6. 單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間：0.5-5s

  7. 光源：高性能進(jìn)口光源（工作壽命：2,000h）

  8. 可視化樣品顯微對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

    圖1光譜橢偏測(cè)頭原理圖

    圖2 SE-VM光譜橢偏儀實(shí)物圖

  1. 樣品臺(tái)規(guī)格：

  1. 基板尺寸：*大支持樣件尺寸到Ф180mm

  2. Z軸位移行程：0-10mm

  3. 樣件臺(tái)俯仰角度：> ±2°

  1. 測(cè)控與分析軟件

  1. 光譜測(cè)量能力：PSI/DELTA橢偏光譜、N/C/S光譜、反射率光譜測(cè)量

  2. 數(shù)據(jù)分析能力：具備單層、多層各向同性/異性膜厚、光學(xué)常數(shù)（折射率、消光系數(shù)）分析能力

  3. 支持常用光學(xué)常數(shù)模型以及常用振子模型（柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等），并支持圖形化多振子混合模型擬合功能

  4. 支持多組分薄膜與體材料光學(xué)常數(shù)、組分比例分析功能； 核心算法包含嚴(yán)格耦合波模型、等效介質(zhì)模型

  5. 支持用戶自定義，軟件不限制拷貝數(shù)量，支持windows7操作系統(tǒng)

  1. 測(cè)控與分析計(jì)算機(jī)

  1. 操作系統(tǒng)：WIN10 64位

  2. CPU處理器：Intel 酷睿I3

  3. 內(nèi)存：≥4G

  4. 硬盤：≥500G

  5. 顯示器：≥19寸

  1. 配件

  1. 標(biāo)準(zhǔn)SiO2/Si標(biāo)樣

  2. 標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套

  1. 環(huán)境要求

  1. 橢偏儀承載臺(tái)：尺寸>1.5m（長）× 1.0 m（寬），承載能力大于50Kg（建議光學(xué)隔振）

  2. 使用溫度范圍：20 ~ 26 ℃

  3. 相對(duì)濕度：35% ~ 60% RH

  4. 空氣壓力范圍：750~1014 mbar

  5. 潔凈度： Class 10000

  1. 能源要求

  1. 供電電源電壓：220V AC

  2. 正常頻率范圍：49-51Hz

  3. 相電流：有效值小于0.5A（220V AC）

  4. 功率：小于110 W

  1. 涂裝與表面處理

  1. 涂裝顏色：以黑色為主

  2. 表面處理：鍍化學(xué)鎳、陽極處理、烤漆等

  1. 質(zhì)保與售后服務(wù)

  1. 整機(jī)硬件質(zhì)保期為12個(gè)月。在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)各類故障供方及時(shí)免費(fèi)維修，對(duì)非人為造成的各類零件損壞，及時(shí)免費(fèi)更換

  2. 測(cè)控與分析軟件：升級(jí)，數(shù)據(jù)分析軟件提供拷貝

  3. 為用戶提供**充分儀器操作與數(shù)據(jù)分析培訓(xùn)

  4. 提供12個(gè)月免費(fèi)數(shù)據(jù)建模與分析技術(shù)支持，免費(fèi)期為用戶提供樣件材料光學(xué)常數(shù)標(biāo)定與模型庫升級(jí)服務(wù)

  5. 供方在接到故障報(bào)修信息后，供方維修人員12小時(shí)內(nèi)電話響應(yīng)，*晚48小時(shí)內(nèi)供方服務(wù)工程師進(jìn)行****維修

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