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南京諾旭微光電有限公司


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OLS5100激光共聚焦顯微鏡

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OLS5100激光共聚焦顯微鏡更智能的工作流程,更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)高效實(shí)驗(yàn)的實(shí)用功能具有出色精度和光學(xué)性能的LEXT™OLS5100激光掃描顯微鏡配備了讓系統(tǒng)更加易于使用的智能工具

詳細(xì)介紹

 

OLS5100激光共聚焦顯微鏡

更智能的工作流程,更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)高效實(shí)驗(yàn)的實(shí)用功能
具有出色精度和光學(xué)性能的LEXT™OLS5100激光掃描顯微鏡配備了讓系統(tǒng)更加易于使用的智能工具。其能夠快速高效完成亞微米級(jí)形貌和表面粗糙度的準(zhǔn)確測(cè)量任務(wù),既簡(jiǎn)化了工作流程又能讓您獲得可信賴的高質(zhì)量數(shù)據(jù)。


二、OLS5100激光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn):
1、簡(jiǎn)化測(cè)量檢測(cè)流程
LEXTOLS5100顯微鏡的智能實(shí)驗(yàn)管理助手(SmartExperimentManager)通過自動(dòng)完成需要耗費(fèi)大量時(shí)間的任務(wù)幫助您簡(jiǎn)化實(shí)驗(yàn)工作流程。
?自動(dòng)創(chuàng)建您的實(shí)驗(yàn)計(jì)劃
?將數(shù)據(jù)自動(dòng)填充到實(shí)驗(yàn)計(jì)劃矩陣中,減少錯(cuò)誤輸入的機(jī)會(huì)
?一目了然的數(shù)據(jù)趨勢(shì)可視化工具
?需要使用實(shí)驗(yàn)流輔助應(yīng)用程序OLS51-S-ETA。
2、值得您信賴的數(shù)據(jù)
專為LEXT顯微鏡設(shè)計(jì)的物鏡能夠提供高度準(zhǔn)確的數(shù)據(jù),確保顯微鏡的測(cè)量精度。與智能物鏡選擇助手(SmartLensAdvisor)搭配使用,就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。
?針對(duì)405nm波長優(yōu)化的LEXT光學(xué)器件可減少像差,從而能夠在整個(gè)視場(chǎng)獲取到樣品的真實(shí)形貌
?智能物鏡選擇助手(SmartLensAdvisor)還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測(cè)量。
3、按下按鈕即可獲得可靠數(shù)據(jù)
精心設(shè)計(jì)的軟件讓新手和經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶都能夠輕松使用顯微鏡。
?輕松獲得準(zhǔn)確數(shù)據(jù)-將樣品放在載物臺(tái)上按下開始按鈕即可
?在客戶的實(shí)驗(yàn)環(huán)境下也能提供有保證的測(cè)試結(jié)果


三、體驗(yàn)激光顯微鏡的優(yōu)勢(shì)
1、亞微米3D觀察/測(cè)量、觀察納米范圍的臺(tái)階,并可測(cè)量亞微米級(jí)別的高度差。
2、ISO25178-符合標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度測(cè)量、可測(cè)量從線到面的表面粗糙度。
3、非接觸、無損且快速、無需制備樣品-只需將樣品放在載物臺(tái)上即可測(cè)量。


四、產(chǎn)品配置:
1、LEXTOLS5100顯微鏡配備彩色成像和激光共焦兩套光學(xué)系統(tǒng),能夠同時(shí)獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
2、彩色光學(xué)系統(tǒng)、彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用白光LED光源和CMOS成像傳感器獲取彩色信息。
3、3D形貌信息和高分辨率圖像、激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405nm激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲取共聚焦圖像。淺焦深特性使其能用于測(cè)量樣品的表面不規(guī)則性。
4、用短波長激光光源的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550nm)的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。OLS5100顯微鏡的405nm激光光源能夠獲得出色的橫向分辨率。

-

 

 

主機(jī)


型號(hào)

OLS5100-SAF

OLS5100-SMF

OLS5100-LAF

OLS5100-EAF

總倍率

54x–17,280x

視場(chǎng)

16 µm–5,120 µm

測(cè)量原理

光學(xué)系統(tǒng)

反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC

光接收元件

激光:光電倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相機(jī)

高度測(cè)量

顯示分辨率

0.5 nm

動(dòng)態(tài)范圍

16位

重復(fù)性σn -1*1 *2 *5

5X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm

準(zhǔn)確度*1 *3 *5

0.15 + L / 100μm(L:測(cè)量長度[μm])

拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5

10X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])

測(cè)量噪聲(Sq噪聲)*1 *4 *5

1 nm(典型值)

寬度測(cè)量

顯示分辨率

1 nm

重復(fù)性3σn-1  *1 *2 *5 

5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm

準(zhǔn)確度*1 *3 *5

測(cè)量值+/- 1.5%

拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5

10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長度[mm])

單次測(cè)量時(shí)*大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量

4096 × 4096像素

*大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量

3600萬像素

XY載物臺(tái)配置

長度測(cè)量模塊

不適用

不適用

工作范圍

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng)

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng)

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)

激光光源

波長

405 nm

*大輸出

0.95 mW

激光等級(jí)

2級(jí)(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)

彩色光源

白光LED

電氣功率

240 W

240 W

278 W

240 W

質(zhì)量

顯微鏡主體

約 31 kg

約 32 kg

約 50 kg

約 43 kg

控制箱

約 12 kg

*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證(溫度:20?C±1?C,濕度:50%±10%),如ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)所規(guī)定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測(cè)量時(shí)倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測(cè)量時(shí)。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測(cè)量時(shí)的典型值。
*5 基于奧林巴斯認(rèn)證系統(tǒng)下的保證。

 

 

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