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RTP快速退火爐嘉儀通半導(dǎo)體退火設(shè)備快速溫變?cè)囼?yàn)箱

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參考價(jià): ￥ 560000 ￥ 540000

訂貨量: 1-2 件 ≥3 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)RTP-3-04

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地武漢市

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更新時(shí)間：2023-06-09 14:43:19瀏覽次數(shù)：177次

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  快速退火爐

快速退火爐耗材

液氮低溫恒溫器

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武漢嘉儀通科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：15條

所在地區(qū)：湖北武漢市

聯(lián)系人：張（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)

RTP快速退火爐嘉儀通半導(dǎo)體退火設(shè)備采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品（4英寸樣品）快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到好的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。

詳細(xì)介紹

RTP快速退火爐嘉儀通半導(dǎo)體退火設(shè)備采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品（4英寸樣品）快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到好的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

RTP快速退火爐嘉儀通半導(dǎo)體退火設(shè)備有以下特點(diǎn)：

可測(cè)大尺寸樣品：可測(cè)單晶片樣品的尺寸為4英寸。
可遠(yuǎn)程操作：提供遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊。
壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì)：高精度控制壓力，以滿足不同的工藝要求。
存儲(chǔ)熱處理工藝：方便工藝參數(shù)調(diào)取，提高實(shí)驗(yàn)效率，數(shù)據(jù)可查詢。
快速控溫與高真空：升溫速率可達(dá)150℃/s，真空度可達(dá)到10-3Pa。
程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展：可實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確控制，進(jìn)行降溫段的自動(dòng)轉(zhuǎn)接，并能夠?qū)に嚥藛芜M(jìn)行保存，方便調(diào)用。采用MFC精確控制氣體流量，實(shí)現(xiàn)不同氣氛環(huán)境（真空、氮?dú)獾龋┫碌臒崽幚怼?/span>
特別的腔體空間設(shè)計(jì)：保證大尺寸樣品的溫場(chǎng)均勻性 ≤1.5%。
全自動(dòng)智能控制：采用全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
超高安全系數(shù)：采用爐門安全溫度開(kāi)啟保護(hù)、溫控器開(kāi)啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施，多方位保障設(shè)備使用安全。
國(guó)產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。