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武漢嘉儀通科技有限公司
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武漢嘉儀通科技有限公司
產(chǎn)品型號(hào)RTP-3-011
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地武漢市
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更新時(shí)間：2023-06-21 11:17:25瀏覽次數(shù)：232次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線| 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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晶化快速退火爐 嘉儀通 薄膜材料晶化退火,本設(shè)備采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)薄膜材料進(jìn)行晶化快速退火處理，提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
晶化快速退火爐 嘉儀通 薄膜材料晶化退火,本設(shè)備采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)薄膜材料進(jìn)行晶化快速退火處理，提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
晶化快速退火爐產(chǎn)品特點(diǎn)：
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s，特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率，特定條件下可達(dá)30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業(yè)級(jí)溫控器進(jìn)行PID精確控溫，目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮?dú)狻鍤獾龋?。同時(shí)，通過選配真空泵，可以在真空條件下進(jìn)行退火，真空度可達(dá)10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過程中的樣品變化。同時(shí)，可以結(jié)合相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行原位測(cè)試分析。
超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng)，多方位保障儀器使用安全。
國(guó)產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。
晶化快速退火爐技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | RTP-3-01系列 |
溫度 | 1200℃ |
升溫速率 | 50℃/s |
溫度均勻性 | ≦1%設(shè)定溫度 |
溫度控制 | 選用工業(yè)級(jí)溫控器，控溫精度±0.1℃ |
溫度傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶 |
降溫速率 | 1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷卻） |
樣品尺寸 | W20 x L20 x T2 (mm) |
主機(jī)尺寸 | W420X L320X H220 (mm) |
主機(jī)重量 | 20.5kg |
晶化快速退火爐 嘉儀通 薄膜材料晶化退火客戶案例：
清華大學(xué)某老師使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火，得到晶相一致晶粒較小的晶體，提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
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