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勻膠機(jī)吸盤

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

勻膠機(jī)吸盤（英文名稱：chuck）又稱勻膠機(jī)載物盤，勻膠機(jī)托盤、真空托盤、勻膠機(jī)片托等。根據(jù)勻膠機(jī)固定基片的方式又可細(xì)分為真空托盤和非真空托盤，而我們口中常說的“吸盤便是采用真空吸附的方式，將基片吸附在真空托盤表面。

詳細(xì)介紹

勻膠機(jī)吸盤 產(chǎn)品概述：

勻膠機(jī)的吸盤（英文名稱：chuck）又稱勻膠機(jī)載物盤，勻膠機(jī)托盤、真空托盤、勻膠機(jī)片托等。

根據(jù)勻膠機(jī)固定基片的方式不同又可細(xì)分為真空托盤和非真空托盤，而我們口中常說的“吸盤"便是采用真空吸附的方式，將基片吸附在真空托盤表面。由此而衍生的轉(zhuǎn)接托盤（圖1）便是利用同心圓的原理來(lái)實(shí)現(xiàn)基片和電機(jī)旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速達(dá)到一致；

chuck

此外，本著節(jié)約資源、綠色環(huán)保的理念，我們絕大多數(shù)吸盤的材質(zhì)均采用的是天然聚丙烯（NPP）。天然聚丙烯（NPP）優(yōu)點(diǎn)在于其不僅無(wú)毒、無(wú)臭、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好，還具有耐化學(xué)性、電絕緣性、高強(qiáng)度機(jī)械性能和良好的高耐磨性等特點(diǎn)。當(dāng)然，考慮到每個(gè)用戶實(shí)際工藝需求，比如在要旋涂一些溫度較高的基片時(shí)，我們也可以根據(jù)勻膠機(jī)的種類來(lái)提供相匹配的金屬或者不銹鋼材質(zhì)吸盤（圖2、圖3）。

如何選擇合適的勻膠機(jī)吸盤？

勻膠機(jī)在旋涂過程中一般采用自轉(zhuǎn)式旋涂的方式來(lái)完成工藝。因此基片需要固定在旋轉(zhuǎn)吸盤上，通常采用的方法是真空吸附，所以吸盤的大小以及真空的強(qiáng)度兩者對(duì)基片吸附后產(chǎn)生的形變有一定的影響，如吸盤面積越小，吸附后產(chǎn)生的形變就越大,這時(shí)所旋涂的基片片內(nèi)膜厚誤差會(huì)加大，且容易產(chǎn)生干涉花紋，通過實(shí)際驗(yàn)證后得出：吸盤面積占所吸附基片面積的1/2~2/3為佳。

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