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上海永傲精密儀器有限公司


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TESCAN MIRA3 掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

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更新時間:2024-01-21 12:03:08瀏覽次數(shù):353次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:44條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:李經(jīng)理 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

TESCAN MIRA3 掃描電子顯微鏡 是一款高性能掃描電鏡,配備有高亮度肖特基電子槍,以獲得高分辨及低噪聲成像。MIRA3 為用戶提供優(yōu)秀的掃描電鏡使用體驗,擁有更快的圖像采集速度,超快速的靜態(tài)和動態(tài)圖像畸變補償掃描系統(tǒng)以及用戶自定義內(nèi)置應(yīng)用程序腳本等。

詳細介紹

MIRA3 高束流下優(yōu)異的分辨率非常有利于 EDS、WDS 及 EBSD 成分分析。借助優(yōu)化的電子束減速技術(shù) ( BDT ) 使得低著陸電壓下的成像能力進一步增強。MIRA3 有 LM、XM 和 GM三種優(yōu)化幾何設(shè)計的樣品室尺寸可供選擇,同時可選擇高/低真空操作環(huán)境。 
 

突出特點

  • 配置高亮度肖特基電子槍,實現(xiàn)高分辨率,大束流及低噪聲成像;
  • *的中間透鏡(IML)技術(shù)和 Wide Field Optics™光路相配合,可提供多種工作和顯示模式,如大視野模式和景深模式;
  • 實時電子束追蹤技術(shù)(In-Flight Beam Tracing™)可實現(xiàn)性能及電子束的實時優(yōu)化,同時可直接控制電子束及束流的連續(xù)調(diào)節(jié)。電子束減速技術(shù) ( BDT ) 在低電壓下具有優(yōu)異分辨率;
  • 通過強大的 In-Beam 探測器可實現(xiàn)短工作距離下的優(yōu)異成像(選配);
  • 所有的 MIRA3 倉室均配備優(yōu)異的 5 軸全自動優(yōu)中心樣品臺 (compucentric stage)同時擁有 EDS 和 EBSD 分析所需的理想幾何結(jié)構(gòu)設(shè)計;
  • 可選配帶有強大樣品臺的超大樣品室(XM、GM),可檢測大樣品 (如6", 8", 12")晶圓;
  • 優(yōu)化幾何設(shè)計的眾多接口,可用于接入 EDS、WDS、EBSD 以及其他探測器;
  • 可變真空模式適用于非導電樣品研究;
  • 多樣可選擇的減震方式可有效降低實驗室環(huán)境振動的影響;
  • 無畸變 EBSD 花樣。

 

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