當(dāng)前位置：奧譜天成(廈門(mén))光電有限公司>>>>SM280_自動(dòng)顯微薄膜厚度測(cè)繪儀

SM280_自動(dòng)顯微薄膜厚度測(cè)繪儀

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地廈門(mén)市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：奧譜天成查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-03-12 21:46:28瀏覽次數(shù)：73次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

暫無(wú)信息

奧譜天成(廈門(mén))光電有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：135條

所在地區(qū)：福建廈門(mén)市

聯(lián)系人：奧譜天成（市場(chǎng)部）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

綜合概述SM280是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的顯微薄膜厚度測(cè)繪儀

詳細(xì)介紹

綜合概述

SM280是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的顯微薄膜厚度測(cè)繪儀。它利用波長(zhǎng)范圍最寬為最寬200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，SM280就能根據(jù)反射回來(lái)的干涉光譜擬合計(jì)算出薄膜的厚度，以及其他光學(xué)常數(shù)如反射率、折射率和消光系數(shù)等，其厚度測(cè)繪范圍可以達(dá)到10nm~100um。

SM280自動(dòng)顯微薄膜厚度測(cè)繪儀采用顯微系統(tǒng)，可以進(jìn)一步縮小光斑大小，從而實(shí)現(xiàn)非常優(yōu)秀的空間分辨率。同時(shí)，SM280采用一體化設(shè)計(jì)，核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀和高精度的3軸移動(dòng)平臺(tái)，結(jié)合奧譜天成的算法技術(shù)，為用戶提供的全新一代的自動(dòng)顯微薄膜厚度測(cè)繪儀。

產(chǎn)品特征

l 非接觸式、非破壞性的測(cè)試系統(tǒng)；

l 精細(xì)光斑，更佳空間分辨率；

l 超長(zhǎng)壽命光源，更高的發(fā)光效率；

l 高分辨率、高靈敏度光譜儀，測(cè)繪結(jié)果更準(zhǔn)確可靠；

l 軟件界面直觀，操作方便省時(shí)；

l 集成實(shí)時(shí)攝像頭，監(jiān)控測(cè)量點(diǎn)；

l 配備顯微物鏡，支持檢測(cè)小尺寸樣品；

l 測(cè)繪速度快，支持多點(diǎn)測(cè)繪點(diǎn)位地圖繪制；

l 支持繪制樣品2D/3D厚度分布圖；

l 高精度、長(zhǎng)壽命的3軸移動(dòng)平臺(tái)；

l 歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，幫助用戶更好掌握結(jié)果；

l 桌面式分布設(shè)計(jì)，適用場(chǎng)景豐富；

應(yīng)用領(lǐng)域

基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)繪，這幾乎包含了所有的電介質(zhì)和半導(dǎo)體材料，包括：

氧化硅、氮化層、類鉆薄膜、多晶硅、光刻膠、高分子、聚亞酰胺、非晶硅等。

l 半導(dǎo)體鍍膜：光刻膠、氧化物、淡化層、絕緣體上硅、晶片背面研磨;

l 液晶顯示：間隙厚度、聚酰亞胺、ITO透明導(dǎo)電膜;

l 光學(xué)鍍膜：硬涂層、抗反射層；

l 微電子系統(tǒng)：光刻膠、硅系膜狀物、印刷電路板；

l 生物醫(yī)學(xué)：醫(yī)療設(shè)備、Parylene

1. SM280的工作原理

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，我們可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（愈多的震蕩代表較大的厚度），而其他的材料特性如折射率與粗糙度也能同時(shí)測(cè)量，如下圖。

SM280_自動(dòng)顯微薄膜厚度測(cè)繪儀

奧譜天成充分吸收行業(yè)痛點(diǎn)、深挖客戶需求，傾心打造國(guó)內(nèi)的自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪儀-SM280，其由主機(jī)光源發(fā)射光線，經(jīng)由Y型光纖照射到被測(cè)樣品表面。Y型光纖由7根細(xì)光纖組成一個(gè)梅花狀，外側(cè)6根光纖射出光線，中間的一根光纖將反射回的干涉光導(dǎo)回到主機(jī)內(nèi)部的光譜儀進(jìn)行測(cè)量和計(jì)算，SM280系統(tǒng)原理見(jiàn)如下圖。

SM280_自動(dòng)顯微薄膜厚度測(cè)繪儀

SM280的測(cè)繪方式可以是極性、矩形或線性的，主機(jī)內(nèi)置高性能運(yùn)動(dòng)控制器賦能可旋轉(zhuǎn)平臺(tái)支持多種預(yù)定義測(cè)繪方式，配備的上位機(jī)軟件支持用戶創(chuàng)建自己的測(cè)繪方式而不受測(cè)量點(diǎn)數(shù)量的限制，測(cè)量結(jié)果支持2D和3D呈現(xiàn)，點(diǎn)位地圖支持的形態(tài)：

*圓形/方形

*放射狀

*中心或邊緣排除

*點(diǎn)位密度

SM280_自動(dòng)顯微薄膜厚度測(cè)繪儀

SM280自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測(cè)繪儀
型號(hào)		SM280-UV	SM280-UVX	SM280	SM280-EXR
一般規(guī)格
光譜波長(zhǎng)		200nm-1000nm	200nm-1700nm	400nm-1000nm	400nm-1700nm
光源		氘鹵組合燈		鎢鹵素?zé)?/span>
測(cè)量規(guī)格
厚度范圍1	5X物鏡	/	/	20nm-40um	20nm-100um
	10X物鏡	/	/	20nm-30um	20nm-70um
	15X物鏡	10nm-30um	10nm-100um	20nm-40um	20nm-80um
	50X物鏡	/	/	20nm-1um	20nm-2um

基本要求
操作系統(tǒng)	Windows10/11
指示燈	氘燈指示、鹵燈指示	鹵燈指示
按鍵	電源按鍵、氘燈、鹵燈	電源按鍵、鹵燈開(kāi)關(guān)
外部接口	電源插座、USB 2.0、RJ45
掃描平臺(tái)	旋轉(zhuǎn)+X軸移動(dòng)+Z軸移動(dòng)
可移動(dòng)行程	150mm*360°
材質(zhì)	鋁合金
供電電源	100~240VAC，50~60Hz
包裝清單	主機(jī)、測(cè)量平臺(tái)、電源線、通信線纜、光學(xué)探頭、Y型光纖
備注：1.取決于材料；2. 取較大者，且取決于材料；3.通光孔徑；