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石英腔體小型濺射儀

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更新時(shí)間:2024-04-20 08:42:31瀏覽次數(shù):33次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:KT-Z1650CVD石英腔體小型濺射儀是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

詳細(xì)介紹

    鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開發(fā)、制造、經(jīng)營(yíng)為一體的材料設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè),如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國(guó)內(nèi)大多數(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 及校,科探儀器已經(jīng)成為老師 同學(xué)歡迎和信任的品牌之一。   公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)社會(huì)為宗旨,積極設(shè)計(jì)開發(fā)新型材料制備設(shè)備,奉獻(xiàn)于教育和科學(xué),經(jīng)過長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累,擁有熱工,制造,控制相關(guān)技術(shù)10余項(xiàng),為化學(xué),物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過和院校老師 同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,形成了有效的信息,技術(shù)交流平臺(tái),為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持!

      目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐   CVD供氣系統(tǒng)   等離子清洗機(jī)   石英腔體小型濺射儀  石英腔體小型蒸鍍儀 石英管真空封口   半導(dǎo)體檢測(cè)等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

   KT-Z1650CVD石英腔體小型濺射儀是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。



石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)介紹:

針對(duì)市場(chǎng)上其它型號(hào)石英腔體小型蒸發(fā)鍍膜儀我們做如下改進(jìn)

1 腔體擴(kuò)充口可增加擴(kuò)展口  大可擴(kuò)展KF40接口方便連接分子泵 或 晶控傳感器

2 樣品可旋轉(zhuǎn) 大轉(zhuǎn)速20轉(zhuǎn)每分鐘 使鍍膜樣品更均勻

3 輕旋轉(zhuǎn)機(jī)械手柄 樣品高度可精細(xì)調(diào)節(jié) 樣品距離靶材距離可精確到1mm

4 電動(dòng)擋板 使用人機(jī)界面程序控制打開或者關(guān)閉時(shí)間

5 可通過人機(jī)界面手動(dòng)或者使用編程自動(dòng)控制預(yù)蒸發(fā) 恒定功率輸出  變換功率輸出 定時(shí)打開擋板(時(shí)間單位 秒)關(guān)閉擋板 樣品轉(zhuǎn)速  工藝可存儲(chǔ)  工藝名稱可改 利如 鍍銀200納米厚

6 此產(chǎn)品已申請(qǐng)多項(xiàng)技術(shù) 抄襲請(qǐng)慎重?。?!


控溫方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

大功率

≤800W

大輸出電壓電流

電壓≤10V  電流≤80A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

擋板類型

電控

樣品室

石英腔體φ160mm x 160mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  (大可安裝φ50基底)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品熱源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

≤1600℃

蒸發(fā)坩堝容積

3ML

真空法蘭

KF25抽氣口  KF25擴(kuò)展口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

1 膜厚在線測(cè)試    2 分子泵


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