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4軸龍門(mén)結(jié)構(gòu)--直線位移臺(tái)+旋轉(zhuǎn)臺(tái)

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更新時(shí)間：2024-03-27 10:12:29瀏覽次數(shù)：103次

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武漢珺瑜測(cè)控技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

?原產(chǎn)國(guó)：比利時(shí)?整體長(zhǎng)度2.4m?行程1000mm?水平直線度±0.4um?垂直直線度±0.4um?最小運(yùn)動(dòng)量0.1um?俯仰±2urad?翻滾±3urad?搖擺±3urad

詳細(xì)介紹

這個(gè)定制開(kāi)發(fā)的XXZ?-motion系統(tǒng)長(zhǎng)2.4米，包含兩個(gè)水平氣浮工作臺(tái)，每個(gè)工作臺(tái)的行程為1米。它們都在同一個(gè)花崗巖底座上運(yùn)行，保證了的排列。在一個(gè)水平氣浮臺(tái)上，建立一個(gè)垂直氣浮臺(tái)，容納一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的RT150S空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺(tái)。所有軸都可以用我們的運(yùn)動(dòng)控制器或商用控制器驅(qū)動(dòng)和同步。

主要特點(diǎn)

? 行程 1000 mm

? 亞微米精度的高動(dòng)態(tài)平面空氣軸承

? 花崗巖龍門(mén)架，精度

? 線性編碼器

的解決方案
?   高性能掃描
?   光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)
?   超精密磨削和銑削
?   光伏系統(tǒng)

?   醫(yī)療系統(tǒng)
?   X-射線
?   激光加工
?   半導(dǎo)體行業(yè)

? 晶圓處理

產(chǎn)品規(guī)格