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更新時(shí)間:2024-04-09 10:05:51瀏覽次數(shù):288次
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電子束蒸發(fā)系統(tǒng)是化合物半導(dǎo)體器件制作中的一種重要工藝技術(shù)。它是在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜??烧舭l(fā)很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比,非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用
應(yīng)用方向:科研與教學(xué)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):多功能,電子槍+熱阻蒸發(fā),膜厚監(jiān)控
產(chǎn)品配置:
★樣片數(shù)量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)
★蒸發(fā)材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。
★蒸發(fā)腔體:高真空系統(tǒng)。
★蒸發(fā)不均勻性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)
★加熱:常規(guī)加熱
★電子槍:E型,帶XY偏轉(zhuǎn)掃描
★電子槍坩堝:6穴,17cc
★膜厚監(jiān)控功能:石英晶控膜厚在線監(jiān)測(cè)與終點(diǎn)控制
★清洗功能:可選配離子源清洗
★器件一次成型復(fù)合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng):通過(guò)復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),一次完成器件的多個(gè)工藝步驟
★檢測(cè)與控制光學(xué)特性功能:可選配光控儀
★操作模式:全自動(dòng)+半自動(dòng)控制
類似產(chǎn)品: 大樣片蒸發(fā)鍍膜(MEB-800)
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