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敞開(kāi)式光柵尺

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2024-06-02 08:02:31瀏覽次數(shù):101次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng),典型應(yīng)用包括:半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備PCB電路板組裝機(jī)超精密機(jī)床高精度機(jī)床測(cè)量機(jī)和比較儀,測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備直接驅(qū)動(dòng)

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品系

應(yīng)用

LIC

LIC敞開(kāi)式直線光柵尺用于測(cè)量高速運(yùn)動(dòng)的行程達(dá)27 m內(nèi)的位置。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。

LIP

LIP敞開(kāi)式直線光柵尺的測(cè)量步距非常小、精度和重復(fù)精度非常高。掃描方式為干涉掃描,測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。

LIF

LIF敞開(kāi)式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是SUPRADUR玻璃基體光柵,掃描方式為干涉掃描。特點(diǎn)是精度和重復(fù)精度高,安裝簡(jiǎn)單,有限位開(kāi)關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中(參見(jiàn)其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”)。

LIDA

LIDA敞開(kāi)式直線光柵尺特別適用于運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用,支持多種安裝方式,安裝簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位開(kāi)關(guān)。

PP

PP雙坐標(biāo)編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是一個(gè)平面DIADUR相位光柵,掃描方式為干涉掃面。用于測(cè)量平面中位置。


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