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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司


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全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī)

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參   考   價(jià): ￥ 1000000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DL-SC150A

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：駱先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-09-27 14:24:46瀏覽次數(shù)：154次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生 （運(yùn)營(yíng)）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

1、電源供應(yīng)為三相380V。
2、環(huán)境要求;無(wú)易爆易燃和腐蝕氣體;26℃恒溫?zé)o塵車間:40-85%RH。
3、氣源使用壓力為0.5Mpa-0.8 Mpa，管徑010。
4、真空負(fù)壓為-80kpa--85kpa，管徑010。
5、水源使用壓力為0.25Mpa-0.4Mpa，管徑 012。

詳細(xì)介紹

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 晶圓倒角單元采用側(cè)向進(jìn)給磨削原理，兼容中?4'' / ?6'' / ?8''（Φ100~Φ200）晶圓倒角加工。


◎ 設(shè)備配有精密在線測(cè)量厚度儀單元和CCD視覺(jué)模組，加工時(shí)先測(cè)量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測(cè)量直徑，真圓度，直線邊到圓心尺寸，倒角邊尺寸。


◎ 設(shè)備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能，滿足各類工藝需求。


◎ 設(shè)備核心磨削主軸、承片主軸及視覺(jué)定位和測(cè)厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn)。


◎ 全自動(dòng)上下料和不良品下料工位。可進(jìn)行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。


◎ 配置了觸摸式液晶顯示器，提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡(jiǎn)單地完成操作。


性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-SC150ADL-SC200A
晶圓尺寸in兼容?4''/?6''

兼容?4''/?6''/?8''

研磨方式-晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑mm?205金剛石砂輪?205金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW11
額定轉(zhuǎn)速范圍RPM500~3000500~3000
Notch主軸
額定功率KW-0.5
額定轉(zhuǎn)速范圍RPM-1000~60000
產(chǎn)品和研磨臺(tái)定位精度um±4±4
厚度測(cè)量重復(fù)精度um±2±2
磨削精度直徑控制精度um1515
晶圓真圓度控制能力um＜10＜10
倒角面幅精度um＜20＜20
平邊/次平邊角度控制能力度±0.05±0.05
設(shè)備尺寸（W x D x H）mm2000x1150x19502000x1150x1950
設(shè)備重量KG約1000約1000


關(guān)鍵詞：顯示器

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