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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌雋思
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海
更新時(shí)間:2023-12-13 13:15:02瀏覽次數(shù):924次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線水冷無(wú)氧化烘箱,高溫?zé)o氧烘箱 工業(yè)烘箱
真空無(wú)氧烤箱,無(wú)氧化真空烘箱 工業(yè)烘箱
無(wú)氧固化爐,高溫?zé)o氧化固化烤箱 工業(yè)烘箱
材質(zhì) | 不銹鋼 | 工作室尺寸 | 45mm |
---|---|---|---|
功率 | 4000 | 加工定制 | 是 |
類型 | 真空 | 適用范圍 | PI/BCB/CPI/LCP/BPO半導(dǎo)體 |
溫度范圍 | 50-500℃ | 重量 | 190kg |
真空無(wú)氧烤箱,無(wú)氧化真空烘箱
真空無(wú)氧烘箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺PI/CPI固化,BPO固化,LCP纖維熱處理,晶圓干燥烘烤等工藝,主要用于集成電路、化合物半導(dǎo)體、MEMS微機(jī)電、TFT/LCD等半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。
兼容性:2寸-12寸/碎片兼容。
低氧濃度:可達(dá)20PPM氧氣下實(shí)現(xiàn)真空固化。
能耗低,真空狀態(tài)固化,節(jié)約了80%N?量。
無(wú)污染,腔體內(nèi)部所有材料均為316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼,無(wú)任何顆粒產(chǎn)生。
真空無(wú)氧烤箱,無(wú)氧化真空烘箱
溫度:RT-400/500度
真空度:小于1torr
操作:真彩人機(jī)界面,一鍵運(yùn)行
冷卻方式:水冷卻+風(fēng)冷
氣路:2路N2
程序模式:程序運(yùn)行10個(gè),每個(gè)程序可設(shè)置25步
隔熱材料:陶瓷纖維
工作腔:40-800L可選
工藝要求:
降低腔體氧濃度
真空后升溫,線性升溫至1xx℃,保溫一定時(shí)間
再線性升溫至1xx℃,保溫約 60min;
繼續(xù)升溫至x00℃,視涂層厚度不同加熱10-x0min
保溫約60min;
降溫至100℃以下
充氮?dú)饣貕洪_門
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