硅材料單晶硅多晶硅產(chǎn)品清洗超純水設(shè)備
在單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽(yáng)能電池硅片、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清---除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等,會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。所以單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽(yáng)能電池硅片、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中用超純水,目前制取超純水工藝可分為反滲透+混床超純水設(shè)備,二是反滲透+,這是兩種制取超純水設(shè)備常用的工藝。超純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低,III族元素(B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會(huì)引起電路短路或特性變差。
超純水中雜質(zhì)的污染源
1.水源的影響
由于水是一種溶解能力很強(qiáng)的溶劑,因此天---然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2, 還有膠體(包括硅膠和腐殖質(zhì)膠體),天---然水中還存在大量的非溶解性質(zhì),包括粘土、砂石、細(xì)菌、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。
2.材料的影響
制備超純水的材料設(shè)備的材質(zhì)都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會(huì)有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時(shí)常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑,也引入大量的金屬、非金屬雜質(zhì),同時(shí)還會(huì)帶來(lái)有機(jī)污染。
硅是地球上儲(chǔ)藏豐富的材料之一,從19世紀(jì)科學(xué)家們發(fā)現(xiàn)了晶體硅的半導(dǎo)體特性后,它幾乎改變了,甚至人類的思維。直到上世紀(jì)60年代開(kāi)始,硅材料就取代了原有鍺材料。硅材料――因其具有耐高溫和抗輻射性能較好,特別適宜制作大功率器件的特性而成為應(yīng)用多的一種半導(dǎo)體材料,目前的集成電路半導(dǎo)體器件大多數(shù)是用硅材料制造的?,F(xiàn)在,我們的生活中處處可見(jiàn)“硅”的身影和作用,晶體硅太陽(yáng)能電池是近15年來(lái)形成產(chǎn)業(yè)化快的。
熔融的單質(zhì)硅在凝固時(shí)硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長(zhǎng)成晶面取向相同的晶粒,則這些晶粒平行結(jié)合起來(lái)便結(jié)晶成單晶硅。單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無(wú)定形硅,然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長(zhǎng)出棒狀單晶硅。單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料,隨著國(guó)內(nèi)和市場(chǎng)對(duì)單晶硅片需求量的快速增加,單晶硅棒的市場(chǎng)需求也呈快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。
單晶硅圓片按其直徑分為6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直徑越大的圓片,所能刻制的集成電路越多,芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片對(duì)材料和技術(shù)的要求也越高。單晶硅按晶體生長(zhǎng)方法的不同,分為直拉法(CZ)、區(qū)熔法(FZ)和外延法。直拉法、區(qū)熔法生長(zhǎng)單晶硅棒材,外延法生長(zhǎng)單晶硅薄膜。直拉法生長(zhǎng)的單晶硅主要用于半導(dǎo)體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽(yáng)能電池。目前晶體直徑可控制在Φ3~8英寸。區(qū)熔法單晶主要用于高壓大功率可控整流器件領(lǐng)域,廣泛用于大功率輸變電、電力機(jī)車(chē)、整流、變頻、機(jī)電一體化、節(jié)能燈、電視機(jī)等系列產(chǎn)品。目前晶體直徑可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成電路領(lǐng)域。
由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)單晶硅材料應(yīng)用廣。在IC工業(yè)中所用的材料主要是CZ拋光片和外延片。存儲(chǔ)器電路通常使用CZ拋光片,因成本較低。邏輯電路一般使用價(jià)格較高的外延片,因其在IC制造中有的適用性并具有消除Latch-up的能力。
單晶硅也稱硅單晶,是電子信息材料中基礎(chǔ)性材料,屬半導(dǎo)體材料類。單晶硅已滲透到國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防科技中各個(gè)領(lǐng)域,當(dāng)今超過(guò)2000億美元的電子通信半導(dǎo)體市場(chǎng)中95%以上的半導(dǎo)體器件及99%以上的集成電路用硅。
多晶硅是由許多硅原子及許多小的晶粒組合而成的硅晶體。由于各個(gè)晶粒的排列方向彼此不同,其中有大量的缺陷。多晶硅一般呈深銀灰色,不透明,具有金屬光澤,性脆,常溫下不活潑。多晶硅是用金屬硅(工業(yè)硅)經(jīng)化學(xué)反應(yīng)、提純,再還原得到的高純度材料(也叫還原硅)。目前世界上多晶硅生產(chǎn)的方法主要有改良西門(mén)子法(SiHCl3)、新硅烷法(SiH4)、SiH2Cl2熱分解法、SiCl4法等多晶硅生產(chǎn)工藝。當(dāng)前多晶硅的市場(chǎng)狀況是:從上來(lái)看,早幾年多晶硅還處于供過(guò)于求的局面,2004年開(kāi)始,由于太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,太陽(yáng)能用多晶硅供不應(yīng)求,導(dǎo)致多晶硅供應(yīng)緊張。在國(guó)內(nèi),我國(guó)多晶硅生產(chǎn)長(zhǎng)期不能滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需要,嚴(yán)重依賴于進(jìn)口。
太陽(yáng)能電池片,中文名稱:太陽(yáng)能電池板 英文名稱:solar cell panel 定義:由若干個(gè)太陽(yáng)能電池組件按方式組裝在一塊板上的組裝件.太陽(yáng)能電池板 Solar panel,分類:晶體硅電池板:多晶硅太陽(yáng)能電池、單晶硅太陽(yáng)能電池。非晶硅電池板:薄膜太陽(yáng)能電池、有機(jī)太陽(yáng)能電池。太陽(yáng)能電池板:太陽(yáng)能電池板是太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)中的核心部分,也是太陽(yáng)能發(fā)電系統(tǒng)中價(jià)值高的部分。其作用是將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化為電能,或送往蓄電池中存儲(chǔ)起來(lái),或推動(dòng)負(fù)載工作。太陽(yáng)能電池板的質(zhì)量和成本將直接決定整個(gè)系統(tǒng)的質(zhì)量和成本。
超純水設(shè)備是指采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備,用于制取超純水的機(jī)器,超純水初是科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水,這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,超純水無(wú)硬度,口感較甜,又常稱為去離子水,可直接飲用,也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。行業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)超純水水質(zhì)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
超純水設(shè)備技術(shù)發(fā)展史:
di一代:預(yù)處理 -陽(yáng)床-陰床-混床
di二代:預(yù)處理 -反滲透-混床
di三代:預(yù)處理 -反滲透-電去離子(EDI)
多晶硅片,半導(dǎo)體器件,太陽(yáng)能光伏行業(yè)硅片清洗水質(zhì)要求非常高,電阻率達(dá)18兆以上,目前選工藝是全膜法制取超純水,全膜法超純水設(shè)備是指采用盤(pán)濾+UF+RO+EDI+SMB組成的工藝設(shè)備,即預(yù)處理采用盤(pán)濾過(guò)濾器+超濾工藝,除鹽采用二級(jí)反滲透+EDI工藝使産水電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上,終端供水采用變頻供水泵+二級(jí)精精混床+終端超濾膜使産水電阻率達(dá)到18.2MΩ.cm,經(jīng)處理后的產(chǎn)水水質(zhì)達(dá)到《電子級(jí)水GB/T11446.1-1997 Ⅰ級(jí)》水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
全膜法超純水設(shè)備該超純水設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)EDI系電滲析(ED)和離子交換技術(shù)(DI)有機(jī)結(jié)合,達(dá)到連續(xù)除鹽、運(yùn)行維護(hù)簡(jiǎn)單、無(wú)酸堿排放污染。在膜處理系統(tǒng)中,用做前處理的超濾一般使用直徑1mm的中空纖維,以脫除原水中的懸浮物及膠體,UF用作前處理的大問(wèn)題是膜污染及膜孔堵塞,為此常在前面設(shè)置預(yù)過(guò)濾器,以去除大粒徑懸浮物,在預(yù)過(guò)濾前加絮凝劑,如PAC(聚丙稀酸)可提高過(guò)濾水質(zhì),并降低膜阻力。對(duì)電廠鍋爐補(bǔ)給水系統(tǒng)要求的溶氧量一般要求為0.3 mg/L以下,為此脫氣膜應(yīng)該在低于5.33Kpa(40TORR)的真空度下操作。控制系統(tǒng)采用工控機(jī)程控控制,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)起停,加藥及沖洗,自動(dòng)監(jiān)測(cè)各種運(yùn)行參數(shù),以便生產(chǎn)管理。
全膜法超純水設(shè)備系統(tǒng)有如下優(yōu)點(diǎn):
1、連續(xù)運(yùn)行禪水質(zhì)穩(wěn)定品質(zhì)更佳。
2、系統(tǒng)運(yùn)行可靠性穩(wěn)定。
3、運(yùn)行成本低。
4、占地面積小。
5、自動(dòng)化程度高。
6、操作及維護(hù)簡(jiǎn)單,無(wú)需接觸酸堿。
7、使用安---全及環(huán)境良好。
8、無(wú)污水排放,無(wú)環(huán)境污染。
益民水處理生產(chǎn)的超純水設(shè)備處力:按客戶要求設(shè)計(jì)
出水指標(biāo):≥16-18.2MΩ.CM
產(chǎn)水用途:電子、單晶硅/多晶硅用工業(yè)超純水、純水、單晶硅多晶硅清洗超純水、硅片硅材料清洗超純水
我們公司專業(yè)生產(chǎn)全膜法超純水設(shè)備,有多年的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),尤其在電控系統(tǒng)PLC方面在水處理行業(yè)技術(shù)都是比較成熟,我們也有做過(guò)很多各行業(yè)的水處理設(shè)備,這方面我們有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們公司做出來(lái)的設(shè)備質(zhì)量比他們都有優(yōu)勢(shì),在國(guó)內(nèi)具有的市場(chǎng)jing爭(zhēng)力。該產(chǎn)品由于具備性能好、國(guó)外同類產(chǎn)品價(jià)格、供貨及時(shí)、售后服務(wù)方便快捷等諸多優(yōu)勢(shì)。在硅片,太陽(yáng)能光伏,半導(dǎo)體,LED、LCD、光電光學(xué)企業(yè)的脫鹽水和超純水裝置,得到了業(yè)界的廣泛贊譽(yù),歡迎廣大客戶前來(lái)參觀考察。益民爭(zhēng)創(chuàng)業(yè)內(nèi)水處理di一品牌-竭誠(chéng)為新老客人提供產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。
單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽(yáng)能光伏電池硅片清洗超純水設(shè)備工藝
全膜法超純水設(shè)備在設(shè)備設(shè)計(jì)上,采用成熟、可靠、、自動(dòng)化程度高的兩級(jí)RO+EDI水處理工藝,預(yù)處理采用盤(pán)濾過(guò)濾器+超濾工藝,除鹽采用二級(jí)反滲透+EDI工藝使産水電阻率達(dá)到15MΩ.cm以上,終端供水采用變頻供水泵+二級(jí)精精混床+終端超濾膜確保處理后的超純水水質(zhì)電阻率達(dá)到18.2MΩ.cm,利用率高,運(yùn)行可靠,經(jīng)濟(jì)合理。關(guān)鍵設(shè)備及材料均采用主流可靠產(chǎn)品,采用PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。
單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽(yáng)能電池硅片清洗超純水設(shè)備選益民水處理,我公司設(shè)計(jì)的超純水設(shè)備采用成熟、可靠、、自動(dòng)化程度高的二級(jí)反滲透+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后的超純水水質(zhì)確保處理后出水電阻率達(dá)到18.2 MΩ.cm。
單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽(yáng)能電池硅片清洗超純水設(shè)備關(guān)鍵設(shè)備及材料均采用主流可靠產(chǎn)品,采用PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動(dòng)化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。大大節(jié)省人力成本和維護(hù)成本,水利用率高,運(yùn)行可靠,經(jīng)濟(jì)合理。使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
我們公司專業(yè)生產(chǎn)二級(jí)反滲透+EDI+精混床除鹽超純水設(shè)備,有多年的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),尤其在電控系統(tǒng)PLC方面在水處理行業(yè)技術(shù)都是比較成熟,我們也有做過(guò)很多各行業(yè)的水處理設(shè)備,這方面我們有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們公司做出來(lái)的設(shè)備質(zhì)量具有更大的優(yōu)勢(shì),在國(guó)內(nèi)具有的市場(chǎng)jing爭(zhēng)力。該產(chǎn)品由于具備性能好、國(guó)外同類產(chǎn)品價(jià)格、供貨及時(shí)、售后服務(wù)方便快捷等諸多優(yōu)勢(shì)。在太陽(yáng)能光伏、LED、LCD、半導(dǎo)體、光電光學(xué)企業(yè)的脫鹽水和超純水裝置,得到了業(yè)界的廣泛贊譽(yù),歡迎廣大客戶前來(lái)參觀考察我公司的廠房及超純水設(shè)備工程案例。
單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽(yáng)能光伏電池硅片清洗超純水設(shè)備部分案例:
東莞南波光伏科技有限公司 18MΩ·CM太陽(yáng)能光伏工藝用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB
亞洲硅業(yè)(青海)有限公司 18MΩ·CM多晶硅材料清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB
四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 18MΩ·CM硅片清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB
青島昌盛日電太陽(yáng)能科技有限公司 18MΩ·CM硅片清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB
宜昌南玻硅材料有限公司 18MΩ·CM硅材料清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB
江西晶科能源有限公司 18MΩ·CM太陽(yáng)能工藝用水二級(jí)RO+EDI+MB
江西江特鋰電池材料有限公司 18MΩ·CM太陽(yáng)能光伏電池生產(chǎn)用水二級(jí)RO+EDI+MB
江門(mén)市雁明貿(mào)易發(fā)展有限公司(羅馬尼亞) 18MΩ·CM太陽(yáng)能光伏工藝用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB
夏津奧德新能源有限公司 18MΩ·CM單晶硅片清洗用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB
成都旭雙太陽(yáng)能科技有限公司 18MΩ·CM太陽(yáng)能光伏工藝用水UF+二級(jí)RO+EDI+MB
上海韓科電子科技有限公司 18MΩ·CM太陽(yáng)能電池片清洗UF+二級(jí)RO+EDI+MB
我相信只有您實(shí)地考察,看了我們的廠房及工程設(shè)備,才會(huì)相信我們的實(shí)力,我們隨時(shí)歡迎您的到來(lái)。耐心解答您的咨詢,咨詢我們前,請(qǐng)您告訴我們幾個(gè)參數(shù):
1.原水水源(自來(lái)水,地下水井水,河水,湖水...),除了自來(lái)水,其它的水源,需要提供水質(zhì)報(bào)告,水源不一樣,處理工藝不一樣,費(fèi)用就有很大的差別;
2.配置(需要高---端配置還是一般配置,就是指水泵有國(guó)產(chǎn)的還是進(jìn)口的,反滲透膜用海德能的還是陶氏的...)
3.控制(用PLC全自動(dòng)控制,還是手動(dòng)控制)
4.出水水質(zhì)要達(dá)到什么標(biāo)準(zhǔn),電阻率要達(dá)到多少,有什么用途,如果不知道,也沒(méi)關(guān)系,告訴我們您是做什么產(chǎn)品的,我們做給您設(shè)計(jì)出符合您生產(chǎn)要求的方案。
應(yīng)用場(chǎng)合:
光伏電池及組件,晶體硅電池及組件、各類薄膜電池組件、聚光電池及系統(tǒng),光伏相關(guān)零部件,蓄電池、充電器、控制器、轉(zhuǎn)換器、記錄儀、逆變器、監(jiān)視器、支架系統(tǒng)、追蹤系統(tǒng)、太陽(yáng)電纜等;
光伏應(yīng)用產(chǎn)品,光伏太陽(yáng)能照明、太陽(yáng)能家用電器、太陽(yáng)能信號(hào)燈、太陽(yáng)能顯示屏、太陽(yáng)能草坪燈及其他太陽(yáng)能光電應(yīng)用產(chǎn)品等光伏原材料,硅料、硅錠/硅塊、硅片、封裝玻璃、封裝薄膜、其他原料;
光伏工程及系統(tǒng),太陽(yáng)能建筑一體化應(yīng)用、太陽(yáng)能外墻及屋頂組件、光伏系統(tǒng)集成、農(nóng)村光伏發(fā)電系統(tǒng)、太陽(yáng)能檢測(cè)及控制系統(tǒng)、測(cè)量及控制系統(tǒng)、太陽(yáng)能光伏工程程序控制和工程管理及軟件編制系統(tǒng)。
我們能夠提供的服務(wù)
1、原水水質(zhì)分析
2、水處理工藝技術(shù)方案與工程設(shè)計(jì)
3、水處理項(xiàng)目投資報(bào)告、可行性分析
4、水處理系統(tǒng)安裝調(diào)試、技術(shù)施工服務(wù)
5、反滲透設(shè)備維護(hù)、清洗、保養(yǎng)及售后服務(wù)
6、技術(shù)培訓(xùn)
7、工程施工管理及技術(shù)監(jiān)督,跟蹤服務(wù)
8、反滲透膜的清洗、多種零件的更改
單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽(yáng)能光伏電池硅片清洗超純水設(shè)備的售后服務(wù)
1、負(fù)責(zé)所供設(shè)備的指導(dǎo)安裝調(diào)試?! ?/span>
2、提供需方設(shè)備維護(hù)人員培訓(xùn)?! ?/span>
3、對(duì)所售設(shè)備提供一年保修(易損易耗件除外)、終生維修?! ?/span>
4、為用戶建立計(jì)算機(jī)管理檔案,定期回訪?! ?/span>
5、設(shè)立顧客滿意電話,隨時(shí)接受用戶咨詢。
6、分布在各地的售后服務(wù)人員將即時(shí)解決用戶使用中產(chǎn)生的問(wèn)題。
我公司專業(yè)生產(chǎn)單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽(yáng)能光伏電池硅片清洗超純水設(shè)備、半導(dǎo)體,多晶硅,光電,LED,LCD等行業(yè)用高純水、超純水設(shè)備,可根據(jù)你的需要定制各種型號(hào)。我們更專業(yè)你才能更放心 ,我們誠(chéng)信服務(wù)讓你滿意100 ?!?以品質(zhì)獲取市場(chǎng)信任,以服務(wù)贏得客戶信任
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