工業(yè)超純水工程案例

【資料簡(jiǎn)介】

　　一、項(xiàng)目背景
　　
　　某電子廠配套純水制備工程設(shè)備。
　　
　　二、設(shè)計(jì)水量
　　
　　本系統(tǒng)要求產(chǎn)品水量為50m3/h，因此設(shè)計(jì)產(chǎn)水量確定為50m3/h。
　　
　　系統(tǒng)采用兩級(jí)反滲透裝置的系統(tǒng)回收率為75%，故系統(tǒng)的設(shè)計(jì)進(jìn)水水量為66.7m3/h。
　　
　　三、設(shè)計(jì)進(jìn)水水質(zhì)
　　
　　本純水系統(tǒng)的進(jìn)水為當(dāng)?shù)厣罹渌|(zhì)經(jīng)當(dāng)?shù)丨h(huán)保部門進(jìn)行了全水質(zhì)分析，主要檢測(cè)分析結(jié)果見水質(zhì)報(bào)告。
　　
　　四、目標(biāo)水質(zhì)
　　
　　根據(jù)產(chǎn)品水的用途與要求，確定產(chǎn)品水的目標(biāo)水質(zhì)為：電阻率≥10MΩ·cm
　　
　　五、處理工藝選擇
　　
　　電子用純水不同于一般的純水制備，它對(duì)水質(zhì)具有更為嚴(yán)格的規(guī)定，屬于高純水范疇。一般來說，高純水制備主要包括預(yù)脫鹽與精處理脫鹽兩大部分，如何進(jìn)行工藝的選擇和組合成為高純水制備的關(guān)鍵。
　　
　　典型工藝流程
　　
　?。ㄋ|(zhì)符合美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ·cm，15MΩ·cm，2MΩ·cm和0.5MΩ·cm四級(jí)）
　　
　　預(yù)處理－反滲透－水箱－陽(yáng)床－陰床－混合床－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－精密過濾器－用水對(duì)象
　　
　　預(yù)處理－一級(jí)反滲透－加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對(duì)象
　　
　　預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對(duì)象
　　
　　預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對(duì)象
　　
　　目前，預(yù)脫鹽處理常常采用的主要是離子交換工藝和反滲透工藝。離子交換已被廣泛使用許多年，我國(guó)八、九十年代初的純水制備工藝基本上都采用離子交換法，該工藝技術(shù)成熟，工藝可靠，而且可根據(jù)目標(biāo)水質(zhì)的要求進(jìn)行多種離子交換方式的組合。隨著科技和自動(dòng)化技術(shù)的發(fā)展，離子交換再生頻繁、操作復(fù)雜、維護(hù)麻煩、運(yùn)行費(fèi)用高等缺陷就越來越突出，九十年代逐漸被新的反滲透技術(shù)代替，特別是預(yù)脫鹽目前基本上都采用反滲透技術(shù)。和離子交換相比，反滲透具有運(yùn)行穩(wěn)定、占地少、操作維護(hù)簡(jiǎn)單、可實(shí)現(xiàn)高度自控，處理水量越大，其優(yōu)勢(shì)就越明顯。
　　
　　預(yù)脫鹽后續(xù)的精脫鹽處理工藝則根據(jù)目標(biāo)水質(zhì)的要求而有所不同，對(duì)超高純水（電阻率大于16MΩ·cm），目前一般采用更*的EDI技術(shù)；對(duì)電阻率低于16MΩ·cm的純水,目前仍采用經(jīng)濟(jì)可靠的混合床技術(shù)。因?yàn)閷?duì)純水的精脫鹽，混床又顯示出其*的優(yōu)勢(shì)：脫鹽穩(wěn)定，效率高，再生周期長(zhǎng)，操作維護(hù)少。
　　
　　鑒于以上的分析，結(jié)合項(xiàng)目的現(xiàn)實(shí)情況，在綜合技術(shù)因素、經(jīng)濟(jì)因素的前提下，確定本純水工程采用以反滲透為主體工藝，混床作為精處理工藝。具體工藝流程簡(jiǎn)圖如下：
　　
　　本系統(tǒng)原水采用深井水，水溫在15℃左右，對(duì)于反滲透系統(tǒng)不是*溫度。反滲透系統(tǒng)的的溫度為20℃左右，如果要保證20℃的溫度，必須對(duì)原水采用加溫措施，加溫的方式可以選用電加熱或蒸汽換熱，對(duì)于小水量系統(tǒng)比較可行，但是對(duì)于較大水量系統(tǒng)，能耗偏高。其付出與升溫帶來的益處相比，反而不具有經(jīng)濟(jì)性。溫度的升高雖然有利于提高反滲透系統(tǒng)的回收率，但是在本系統(tǒng)設(shè)計(jì)中對(duì)于反滲透系統(tǒng)的回收率具有一定的余度，因此無需加溫仍*可以滿足系統(tǒng)要求。同時(shí)，升溫過程的控制和操作也比較復(fù)雜。因此，本系統(tǒng)不考慮采用原水升溫措施，只在反滲透系統(tǒng)中考慮水溫影響，進(jìn)行修正。
　　
　　原水經(jīng)泵提升依次經(jīng)過組合過濾器、投加阻垢劑和保安過濾器等預(yù)處理工段，用以去除原水中的懸浮固體、膠體、有機(jī)物，并降低原水的濁度、色度等，保證RO進(jìn)水SDI＜3，以提供合格的反滲透進(jìn)水。
　　
　　保安過濾器出水經(jīng)高壓泵提升進(jìn)入反滲透裝置，反滲透出水進(jìn)入中間水箱，反滲透部分設(shè)有在線PH調(diào)節(jié)裝置。為保證反滲透裝置長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，設(shè)置反滲透清洗裝置，視需要對(duì)反滲透膜進(jìn)行清洗。
　　
　　中間水箱出水經(jīng)純水泵提升至混床除鹽系統(tǒng)，利用離子交換原理進(jìn)一步脫鹽，處理后產(chǎn)出的合格水流經(jīng)微孔過濾器至純水箱處，再經(jīng)供水泵提升，經(jīng)過紫外線消毒裝置殺滅細(xì)菌后進(jìn)入用水點(diǎn)。
　　
　　值得注意的是，本系統(tǒng)一次性按照產(chǎn)品水量為50m3/h進(jìn)行設(shè)計(jì)，考慮到實(shí)際生產(chǎn)中可能會(huì)在初期生產(chǎn)的1-2年內(nèi)不需要如此大的水量，需水量可能在60%左右，因此在系統(tǒng)配置中控制泵的選型匹配，在不同產(chǎn)水量的要求下，啟動(dòng)不同臺(tái)數(shù)的水泵，達(dá)到系統(tǒng)對(duì)產(chǎn)水量的需求。
　　
　　六、主要工藝說明
　　
　　1.預(yù)處理
　　
　　反滲透系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵在于預(yù)處理，預(yù)處理的好壞不僅決定著反滲透裝置的清洗次數(shù)，而且決定著反滲透膜元件的使用壽命。預(yù)處理部分主要解決以下問題：
　　
　　防止膠體物質(zhì)及懸浮物固體顆粒、泥沙等產(chǎn)生污堵；
　　
　　防止大分子有機(jī)物質(zhì)、微生物產(chǎn)生污堵；
　　
　　防止反滲透膜元件表面結(jié)垢（包括因濃縮而出現(xiàn)鐵鋁化物等的結(jié)晶）；
　　
　　保持反滲透系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行和裝置產(chǎn)水量穩(wěn)定。
　　
　　本系統(tǒng)預(yù)處理部分主要包括：原水箱、提升泵、組合過濾器、保安過濾器、阻垢劑投加裝置、調(diào)pH裝置。
　　
　　原水箱及提升泵
　　
　　原水箱的作用是儲(chǔ)存一定量的原水，以提供穩(wěn)定的供水。
　　
　　原水箱的有效容積V=30m3，尺寸：Φ3100×4200mm，材質(zhì)：PE，箱內(nèi)配置浮球閥1個(gè)，到達(dá)預(yù)定液位時(shí)自動(dòng)停止進(jìn)水。為盡量避免細(xì)菌污染，水箱采用封閉形式，并在通空氣處設(shè)有呼吸器，過濾凈化空氣。
　　
　　原水箱的出水經(jīng)泵提升至后續(xù)處理單元—組合過濾器。設(shè)計(jì)提升泵3臺(tái)（2用1備），單臺(tái)能力為Q=40m3/h，H=24.5m，N=5.5kw。
　　
　　組合過濾器
　　
　　組合過濾作為預(yù)處理的*步，主要用以去除膠體物質(zhì)、懸浮物固體顆粒、泥沙、部分大分子有機(jī)物質(zhì)及微生物。
　　
　　本系統(tǒng)組合過濾器采用石英砂與顆?；钚蕴抗餐旌献鳛闉V料，通過過濾截留與吸附作用不僅可以達(dá)到上述目的，對(duì)于鐵、錳等也具有較好的去除效果?；钚蕴康氖褂茫梢杂行ьA(yù)防地下水受到污染后水質(zhì)變化的影響，同時(shí)可以改善處理水的水質(zhì)條件，對(duì)反滲透和離子交換系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行非常有利。其主要特點(diǎn)有：
　　
　　過濾精度高：水中懸浮物的去除率接近100%；
　　
　　截污容量大：一般為5-10kg/m3，是傳統(tǒng)過濾器的3-5倍；
　　
　　可調(diào)性強(qiáng)：過濾阻力、截污容量等參數(shù)可根據(jù)需要隨意自由調(diào)節(jié)；
　　
　　可以去除部分硅膠和鐵膠體，抑制硅、鐵等的結(jié)垢；
　　
　　操作管理簡(jiǎn)單方便。
　　
　　設(shè)計(jì)選用組合過濾器2臺(tái)，規(guī)格為Ф2400×3000，互為備用，罐體采用碳鋼材質(zhì)，內(nèi)襯膠，濾料為精選石英砂與顆粒活性炭。反沖洗利用原水直接進(jìn)行，采用水反沖洗，配備水泵1臺(tái)，單臺(tái)能力為Q=139m3/h，H=24m，N=15kw。
　　
　　阻垢劑投加裝置
　　
　　為防止RO膜元件在選擇透過淡化水的同時(shí)，其濃水側(cè)溶解固形物濃縮出現(xiàn)因濃度極大與溶解度平衡常數(shù)而結(jié)晶析出，在RO膜表面結(jié)垢，影響RO膜的脫鹽率、水通量、運(yùn)行壓力等性能參數(shù)。如果出現(xiàn)細(xì)小晶粒而不能及時(shí)處理的話，溶解固形物會(huì)以其為結(jié)晶核心，使結(jié)晶粒增大，從而其結(jié)晶棱角會(huì)刺破膜表面，損壞反滲透裝置，因而在反滲透裝置前設(shè)置某阻垢劑加藥裝置。
　　
　　該阻垢劑是能夠有效地控制無機(jī)鹽類結(jié)垢并特別針對(duì)硅酸鹽的結(jié)構(gòu)，*將硅的溶解度降在安全線以下（64%），可以有效控制LSI指數(shù)控制在2.5以內(nèi)，使膜的壽命延長(zhǎng)而降低成本。從量的角度來看，可以控制240ppm的濃水硅含量，從功能上看，具有以下幾個(gè)功能：
　　
　　有效控制無機(jī)鹽類結(jié)垢并特別針對(duì)硅酸鹽在濃縮液中高達(dá)240ppm還不致結(jié)垢；
　　
　　碳酸鈣、硫酸鈣、*、硫酸、鍶等可高達(dá)+2.5LSI還不會(huì)結(jié)垢；
　　
　　所有主要反滲透膜元件都能使用；
　　
　　籍由分散阻塞微粒來維持更干凈的膜表面；
　　
　　液態(tài)產(chǎn)品，可稀釋或直接使用；
　　
　　適用于硅含量高以及具有鐵和鋁的水型。
　　
　　通過阻垢劑投加計(jì)算，阻垢劑的投加量為2.9ppm，考慮到設(shè)計(jì)的安全余量，設(shè)計(jì)投加量確定為3.5ppm，具體投加量由現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試決定。
　　
　　為了增加加藥的混合效果，在加藥點(diǎn)設(shè)置靜態(tài)混合器一臺(tái)，以使阻垢劑和原水充分混合，滿足阻垢機(jī)阻垢機(jī)理以及充分發(fā)揮所加藥劑的性能。
　　
　　設(shè)計(jì)采用阻垢劑投加裝置一套，藥箱的容積為0.15m3，計(jì)量泵采用進(jìn)口計(jì)量泵，zui大加藥量為0.9L/h。
　　
　　調(diào)pH裝置
　　
　　投加鹽酸調(diào)整pH值在6.8左右，有利于膜的使用，防止結(jié)垢。
　　
　　根據(jù)計(jì)算，36%鹽酸zui大投加量為25ppm，配套在線pH計(jì)，控制pH的調(diào)節(jié)。
　　
　　設(shè)計(jì)采用調(diào)pH裝置一套，藥箱的容積為0.15m3，計(jì)量泵采用進(jìn)口計(jì)量泵，zui大加藥量為1.2L/h。
　　
　　保安過濾器
　　
　　為進(jìn)一步改善反滲透進(jìn)水的物化指標(biāo)，確保反滲透工藝穩(wěn)定運(yùn)行，在組合過濾器之后，設(shè)計(jì)采用保安過濾作為zui終的預(yù)處理手段，使RO進(jìn)入濁度低于1的水平，SDI＜3。
　　
　　本工程設(shè)計(jì)采用保安過濾器1臺(tái)，處理能力Q=60-80m3/h，規(guī)格為Ф600×2111mm，濾芯材質(zhì)：聚丙烯，過濾精度：5μm，濾芯數(shù)量：51根。
　　
　　在正常工作情況下，濾芯可以維持7-8個(gè)月以上，當(dāng)進(jìn)出口壓力差達(dá)到1kg/cm2時(shí)進(jìn)行更換，以便能在清洗濾芯時(shí)達(dá)到滿意的恢復(fù)效果，減低運(yùn)行成本，濾器的結(jié)構(gòu)滿足快速更換濾芯的要求。
　　
　　2.反滲透系統(tǒng)
　　
　　反滲透是系統(tǒng)預(yù)脫鹽的核心部分，設(shè)計(jì)的成熟、合理與否不僅直接決定系統(tǒng)能否達(dá)到設(shè)計(jì)要求，而且關(guān)系到反滲透裝置的使用壽命，本系統(tǒng)設(shè)計(jì)反滲透產(chǎn)水量為50m3/h。
　　
　　高壓泵
　　
　　反滲透膜元件對(duì)水中的離子具有選擇透過性，因而在反滲透濃水側(cè)和產(chǎn)水側(cè)存在著滲透壓差，這樣就必須要有外界的壓力來克服滲透壓差才能夠使反滲透裝置正常工作并達(dá)到設(shè)計(jì)要求，外界的壓力通過高壓泵來提供。根據(jù)設(shè)計(jì)計(jì)算，采用立式多級(jí)離心高壓泵2臺(tái)（2用0備），具有運(yùn)行壓力穩(wěn)定，噪音小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。高壓泵單臺(tái)能力Q=40m3/h，H=15bar，N=30kw。
　　
　　反滲透裝置
　　
　　考慮到微生物污染的有效防治，RO的膜元件選用抗污染型低壓復(fù)合膜。
　　
　　該種復(fù)合膜與傳統(tǒng)復(fù)合膜相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)：
　　
　　膜流量高，可以在較低的水壓和較高的流速下，獲得相等的脫鹽率，也就是說，在保持高脫鹽率的狀態(tài)下時(shí)，其淡水流速幾乎達(dá)到其他復(fù)合聚酰胺膜的兩倍，在產(chǎn)水量相同的條件下，可以減少占地面積，降低膜組的投資；機(jī)械強(qiáng)度好，運(yùn)行壽命長(zhǎng)，在設(shè)計(jì)工況下，使用壽命一般可以達(dá)到3~5年；對(duì)水質(zhì)的適應(yīng)能力強(qiáng)，尤其是水溫和pH。進(jìn)水pH值在2~11均可，在進(jìn)水的常規(guī)水溫度下不影響其處理效果。
　　
　　整套反滲透系統(tǒng)共用48支8″膜，膜組件采用一級(jí)兩段形式，每根壓力容器中安裝6根膜元件，按照5：3的排列，即*段的5根反滲透膜管的濃水作為第二段3根反滲透膜管的進(jìn)水。這樣的設(shè)置可以保證RO膜元件的設(shè)計(jì)通量和回收率小于膜元件制造的zui大通量和回收率，降低單只膜元件的產(chǎn)水回收率，從而延長(zhǎng)膜元件的使用壽命，降低膜元件的產(chǎn)水年衰減率。選用的膜元件的型號(hào)為BW30-400，單根膜元件的zui大回收率為15%，脫鹽率超過98%，可以達(dá)到99.5%，連續(xù)運(yùn)行的pH范圍廣，在2-11之間。系統(tǒng)總回收率為75%，可以保證三年以上仍保證穩(wěn)定的系統(tǒng)回收率。
　　
　　反滲透裝置配有相關(guān)的流量計(jì)、壓力表、溫度計(jì)、集中取樣裝置和相關(guān)的控制元件。在產(chǎn)水側(cè)設(shè)不合格排放閥，能夠?qū)傞_機(jī)、停機(jī)維護(hù)、調(diào)試時(shí)短時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生的不合格產(chǎn)水排放，不使其進(jìn)入后續(xù)工段。反滲透濃水側(cè)設(shè)置電動(dòng)排放閥，在反滲透裝置開啟前進(jìn)行低壓沖洗和停用時(shí)置換膜元件內(nèi)的濃水，防止停用后無機(jī)鹽在膜元件內(nèi)沉淀，沖洗壓力為1.5kg/cm2，一般用預(yù)處理設(shè)備的給水就足夠了。
　　
　　化學(xué)清洗裝置
　　
　　反滲透裝置的預(yù)處理設(shè)計(jì)越趨于完善，膜元件清洗的次數(shù)就可以減少，但是*保證膜元件不被污染是不可能的，當(dāng)系統(tǒng)出現(xiàn)壓力升高，產(chǎn)水量降低，脫鹽率下降等特征時(shí)，就必須考慮對(duì)反滲透膜的化學(xué)清洗，首先應(yīng)判斷發(fā)生污染的性質(zhì)和位置，然后采用相應(yīng)配套的化學(xué)藥劑溶液通過每段反滲透組件留有的清洗接口進(jìn)行清洗。
　　
　　清洗裝置由清洗泵、清洗箱以及相關(guān)的流量計(jì)、壓力表、閥門、管路系統(tǒng)等。一般當(dāng)系統(tǒng)壓力上升15%以上時(shí)，需要進(jìn)行化學(xué)清洗，一般4-6個(gè)月清洗一次?；瘜W(xué)清洗裝置溶藥箱容積為2m3，清洗泵1臺(tái)，能力為40m3/h，H=34m，N=5.5kw，配套精密過濾器1臺(tái)，處理能力Q=40m3/h，規(guī)格為Ф500×1757mm，濾芯材質(zhì)：聚丙烯，過濾精度：5μm，濾芯數(shù)量：36根。
　　
　　3.精處理系統(tǒng)
　　
　　精處理脫鹽系統(tǒng)是保證產(chǎn)品水達(dá)到目標(biāo)水質(zhì)的保障手段。本精處理系統(tǒng)包括：中間水箱、純水泵、混床、微孔過濾器、純水箱、供水泵和紫外線消毒器。
　　
　　中間水箱與純水泵
　　
　　為便于收集反滲透出水，并利于泵的穩(wěn)定連續(xù)提升，設(shè)置中間水箱1個(gè)，有效容積V=10m3，尺寸：Φ2390×2800mm，材質(zhì)：PE，箱內(nèi)配置液位控制，可根據(jù)液位的高低自動(dòng)控制純水泵的啟停，并具有報(bào)警功能。為盡量避免細(xì)菌污染，水箱采用封閉形式，并在通空氣處設(shè)有無菌空氣呼吸器，過濾凈化空氣。
　　
　　RO出水流至中間水箱，中間水箱出水經(jīng)純水泵提升至混床。
　　
　　選用純水泵2臺(tái)（1用1備），單臺(tái)能力為Q=50m3/h，H=18m。
　　
　　混床
　　
　　混床是離子交換除鹽系統(tǒng)中應(yīng)用非常廣泛和有效的一種方式，它將陰、陽(yáng)樹脂按一定比例混合填裝在一個(gè)交換器內(nèi)，可以同時(shí)去除水中的陰、陽(yáng)離子，在混床中經(jīng)陰陽(yáng)樹脂交換生成的氫氧根離子立即得到中和生成水，不存在反離子的干擾，因此離子交換反應(yīng)進(jìn)行的十分*，出水純度很高，同時(shí)出現(xiàn)間斷運(yùn)行時(shí)對(duì)產(chǎn)水水質(zhì)影響較小，交換終點(diǎn)明顯，容易判斷交換器是否失效。本設(shè)計(jì)采用一級(jí)混床進(jìn)一步脫鹽，確保產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定可靠。
　　
　　設(shè)計(jì)混床3臺(tái)（2用1備），混床設(shè)有人孔、手孔和視鏡孔等，便于觀察和操作，單臺(tái)處理能力Q=25m3/h，規(guī)格為Ф1200×3700mm。
　　
　　離子交換運(yùn)行到一定時(shí)期，必須進(jìn)行樹脂的再生，保證樹脂再生交換容量，再生的方式具有體外再生和體內(nèi)再生兩種方法。一般而言，體外再生的再生效果優(yōu)于體內(nèi)再生，但是操作復(fù)雜，工作量大。對(duì)于本系統(tǒng)，混床是作為精處理工段使用，再生周期很長(zhǎng)，約半年再生一次，如果采用體外再生樹脂重新裝填將非常麻煩，而采用簡(jiǎn)單易于操作的體內(nèi)再生即可以滿足系統(tǒng)使用的要求。因此，設(shè)計(jì)采用體內(nèi)再生方式，配置堿酸再生裝置1套，包括酸堿貯槽、酸堿計(jì)量箱、酸堿計(jì)量泵等配套設(shè)備。
　　
　　微孔過濾器
　　
　　作用是有效濾除細(xì)菌尸體和混床樹脂碎屑。
　　
　　設(shè)計(jì)微孔過濾器1臺(tái)，設(shè)備處理能力Q=50m3/h，規(guī)格為Ф500×1500，濾芯材質(zhì)：聚丙烯，過濾精度：0.45mm，濾芯數(shù)量：51根。
　　
　　純水箱與供水泵
　　
　　微孔過濾的出水進(jìn)入純水箱，通過供水泵輸送至用水點(diǎn)。
　　
　　設(shè)計(jì)純水箱1座,有效容積V=63m3，尺寸：Φ4500×4400mm，材質(zhì)：PE，箱內(nèi)配置液位控制，可根據(jù)液位的高低自動(dòng)控制純水泵的啟停，并具有報(bào)警功能。為盡量避免細(xì)菌污染，水箱采用封閉形式，并在通空氣處設(shè)有無菌空氣呼吸器，過濾凈化空氣。
　　
　　配套供水泵2臺(tái)（1用1備），單臺(tái)泵能力為Q=50m3/h，H=16m。
　　
　　紫外線殺菌器
　　
　　紫外線殺菌是目前純水制備普遍采用的殺菌方式，重要的是不產(chǎn)生任何消毒副產(chǎn)品，對(duì)產(chǎn)品水水質(zhì)量沒有影響。而且設(shè)備簡(jiǎn)單、操作簡(jiǎn)便，運(yùn)行費(fèi)用低。
　　
　　本工程設(shè)計(jì)采用紫外線消毒設(shè)備1臺(tái)，處理能力50m3/h。