萊寶LEYBOLD 氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)參數(shù)

【資料簡介】

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  基本參數(shù)：
型號：L300I 類型：氦質(zhì)譜檢漏儀 測量范圍：≤5×10 -12 mbar l/s
測量對象：根據(jù)客戶需要  工作溫度：0-550（℃）
電源：220  尺寸：1000*500*1200（mm） 重量：20（kg）
詳細(xì)說明:
PHOENIX L300i 技術(shù)參數(shù)
物理數(shù)據(jù)zui大入口壓力15 mbarzui小可檢測氦漏率
在真空模式下- 使用渦旋泵 ＜8×1 0-12 mbar l/s
使用油封泵在吸式下:
＜5×1 0-12 mbar l/s
＜1×10 -7 mbar l/s
zui小可檢測氫漏率
· 在真空模式下
＜1×1 0-8 mbar l/s
· 在吸式下
＜1×10 -7 mbar l/s
能顯示的zui大氦漏率
0.1mbar l/s
測量范圍12數(shù)量級
可檢測質(zhì)量2，3，4
質(zhì)譜室180 °扇形磁場
離子源2燈絲，銥 /氧化釔
吸入口:DN 25 KFDN 25
起動時間（啟后）＜2 min
為了降到zui小可檢測漏率范圍，必須滿足一些條件。
· PHOENIX L300i 運行至少 20 分鐘
· 環(huán)境狀況必須穩(wěn)定（溫度，無振動 環(huán)境狀況必須穩(wěn)定）
· 試件抽空足夠長（ 試件抽空足夠長，本底再下降 ）
· 清零功能（ ZERO ）必須激活。