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鄭州科佳電爐有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號KJ-T1200-S440
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式:陳科查看聯(lián)系方式
更新時間:2022-09-02 09:25:15瀏覽次數(shù):175次
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產(chǎn)品介紹:KJ-T1200CVD是一種管式爐,配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹:
KJ-T1200 CVD是一種管式爐,配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)。 它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴散。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 1200度CVD設(shè)備 | |
型號 | KJ-T1200 | |
部分:標準件 | ||
Tube Furnace | 顯示 | 7”液晶觸摸屏 |
溫度 | 1200℃ | |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
升溫速率 | 0~10℃/min | |
溫區(qū)長度 | 440mm | |
加熱元件 | 鉬電阻絲 | |
熱電偶 | K型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ | |
爐管 | 100 x 1000mm (OD x minimum L) | |
材質(zhì):石英管 | ||
溫度控制 | 通過可控硅功率控制進行PID自動控制 | |
加熱曲線 | 30 步可編程 | |
真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭。 法蘭的一端有 1 個帶刺針閥,安裝有機械壓力表。 法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口 | |
功率 | 220V, 50 Hz, 單相. 4KW | |
真空泵 | 旋片真空泵 | 極限真空 10-3 托。 管內(nèi)的真空度約為 10-1 Torr。 (RM溫度和空管條件) 流量:2L/S 旋片真空泵將被設(shè)計成帶輪子的推車。 帶連接附件 包括數(shù)字真空計 |
質(zhì)量流量計 帶液晶觸摸屏控制器 | 一個浮子流量計+五個精密質(zhì)量流量計: MFC 精度為:±1.5% F.S. MFC 1 用于氮氣:氣體流量范圍為 0~100 sccm 氫氣用 MFC 2:氣體流量范圍 0~200 sccm MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm 氬氣用 MFC 4:氣體流量范圍 0~400 sccm 氧氣用 MFC 5:氣體流量范圍 0~500 sccm 一個氣體混合罐(僅適用于5 MFC)安裝在底殼上,4個不銹鋼針閥安裝在底殼左側(cè),用于手動控制4種氣體混合。 |
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