ANT130-XY系列雙軸納米平移臺(tái)

1.結(jié)構(gòu)緊湊的納米平移臺(tái)
2.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（50納米），定位精度（250納米）
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動(dòng)態(tài)特性

相關(guān)文檔下載

ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺(tái)

1.大行程實(shí)現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動(dòng)態(tài)特性

相關(guān)文檔下載

ANT130-R系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺(tái)

1.高分辨率（0.01角秒）
2.高性能
3.的跳動(dòng)指標(biāo)
4.的定位性能
5.高動(dòng)態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)

相關(guān)文檔下載

ANT180-L系列納米平移臺(tái)

1．非接觸，無(wú)齒槽，無(wú)摩擦，直接驅(qū)動(dòng)
2．零背隙，無(wú)磁滯現(xiàn)象
3．抗爬行十字交叉滾珠軸承
4．zui大360毫米行程
5．高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（100納米），定位精度（150納米）
6．完整的多軸電纜管理系統(tǒng)

相關(guān)文檔下載

ANT95-XY-Ultra系列雙軸納米定位平臺(tái)

1.集成低框架XY直線電機(jī)平臺(tái)，25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.實(shí)現(xiàn)大行程納米定位
3.定位穩(wěn)定性<1納米
4.二維系統(tǒng)精度為250納米
5.高動(dòng)態(tài)性能

ANT130-XY-Ultra系列雙軸納米定位平臺(tái)

1.集成低框架XY軸直線電機(jī)平臺(tái)
2.實(shí)現(xiàn)大行程納米級(jí)定位
3.二維系統(tǒng)精度為250nm
4.定位穩(wěn)定性<1納米
5.高動(dòng)態(tài)性能

ANT95-V系列提升臺(tái)

1.實(shí)現(xiàn)3mm垂直行程的納米級(jí)定位
2.高分辨率（1nm），重復(fù)定位精度（100nm），精度（200nm）
3.定位穩(wěn)定性<1納米
4.抗蠕動(dòng)交叉滾珠軸承
5.高動(dòng)態(tài)性能

ANT130-V系列提升平臺(tái)

1.實(shí)現(xiàn)5mm垂直行程的納米級(jí)定位
2.高分辨率（2nm），重復(fù)定位精度（100nm），精度（200nm）
3.定位穩(wěn)定性<2納米
4.抗蠕動(dòng)交叉滾珠軸承
5.高動(dòng)態(tài)性能

ANT-20G系列擺角臺(tái)

1.非接觸，無(wú)齒槽，零背隙或無(wú)磁滯無(wú)摩擦直接驅(qū)動(dòng)
2.高速（150°/s）
3.高分辨率（0.05角秒）
4.杰出的定位穩(wěn)定性
5.20°大旋轉(zhuǎn)角度
6.兩支架正交安裝提供繞同一點(diǎn)旋轉(zhuǎn)
7.無(wú)需維護(hù)
8.緊湊型設(shè)計(jì)