表面微粒檢測(cè)儀

表面微粒檢測(cè)儀（SPD）測(cè)量和控制表面微粒污染的---使得其變得更好。新一代的涵蓋了我們核心的表面測(cè)量技術(shù)能夠分辨0.1微米的微粒并且大大增加了當(dāng)今在潔凈室中的使用。表面微粒等級(jí)控制在0.1微米范圍內(nèi)，成為了產(chǎn)量和過程控制中的關(guān)鍵。

優(yōu)點(diǎn)

可預(yù)見的，每次的儀器*恢復(fù)。

減少25-50%的恢復(fù)時(shí)間

減少50%+的顆粒數(shù)

減少干燥處理及晶圓測(cè)試

減少泵的清洗周期

提升MTBC至4X或者更多

提升10%+的工具可用性

減少PM周期時(shí)間

減少故障事件

符合ISO-14644-9表面粒子規(guī)范

新型QIII ULTAR SPD 包括：

HeNe激光光學(xué)0.1微米的分辨率

采用新型的靜態(tài)采樣模式提高測(cè)量精度

新型7寸高分辨率（WVGA）屏幕，顯示清晰的圖像和文字。

新式取樣頭插座設(shè)計(jì)，取樣頭更換，更輕易，便利

雙電池插槽設(shè)計(jì)，可熱抽換，新式智慧型鋰電池設(shè)計(jì)

收集的資料現(xiàn)在可以被很容易的通過USB下載

通過USB接口，軟件可直接被用戶升級(jí)

6個(gè)粒徑通道，增強(qiáng)粒子的區(qū)分的可視性

不溶性微粒檢測(cè)儀

*時(shí)間PM自凈

如何測(cè)量過程室的潔凈度在PM期間？SPD可以大大減少PM自凈時(shí)間，green-to-green時(shí)間，并且提高了fab的吞吐量，通過使用QIII SPD，你能直接的測(cè)量物體表面精確的0.1微米的微粒。用QIII SPD開始清潔的結(jié)果是，*時(shí)間復(fù)原所有尺寸的粒子個(gè)數(shù)，讓經(jīng)過處理過的工具有明顯的效果。

綠色-到-綠色 時(shí)間？（所有PM時(shí)間，包括了自凈時(shí)間）

降低了50%的自凈時(shí)間

保持低的green-to-green時(shí)間

QIII SPD 按PM實(shí)施

MTBC增長

通過結(jié)合QIII SPD在PM進(jìn)程中粒子控制，MTBC可以增長。

舉例1.1：300mm介質(zhì)工具

MTBC pre-QIII SPD: 174 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 300 rf hrs

ROI:3.6個(gè)月

舉例2.

舉例1.2：300mm金屬工具

MTBC pre-QIII SPD: 40 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 110 rf hrs

ROI:0.6個(gè)月