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真空氣氛管式爐

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產(chǎn)品型號(hào)CVD系列

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更新時(shí)間：2022-07-12 14:52:11瀏覽次數(shù)：1306次

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  管式爐

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合肥日新高溫技術(shù)有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：18條

所在地區(qū)：安徽合肥市

聯(lián)系人：張先生

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CVD系列真空氣氛管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理. CVD系列專門設(shè)計(jì)用于高溫材料沉積之用。是理想的科研設(shè)備。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域： CVD系列真空氣氛管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)等等；也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理.

產(chǎn)品特點(diǎn)： CVD系列真空氣氛管式爐專門設(shè)計(jì)用于高溫材料沉積之用。硅鉬棒加熱、剛玉爐管爐膛, 可預(yù)抽真空,便于通入?yún)⒓臃磻?yīng)的氣體,進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計(jì)隔板結(jié)構(gòu)。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，是理想的科研設(shè)備。

主要技術(shù)指標(biāo)：

設(shè)備型號(hào)	CVD（D）-06/60/3		CVD（Z）-06/30/1	CVD（G）-07/50/2	CVD（G）-09/50/1
zui高溫度	1050℃		1300℃	1650℃/1000℃	1650℃
使用溫度	RT—1000℃		850-1300℃	1000-1600℃	1000-1600℃
控制精度	±1.5℃		±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃
溫區(qū)個(gè)數(shù)	3個(gè)		1個(gè)	2個(gè)	1個(gè)
加熱區(qū)長(zhǎng)度	600mm		300mm	500mm（300mm/200mm）	500mm
爐管尺寸	ф60（外徑）×1400（mm）		ф60（外徑）×1000（mm）	ф70（外徑）×1450（mm）	ф90（外徑）×1450（mm）
爐管材料	石英管		剛玉管	剛玉管	剛玉管
發(fā)熱元件	進(jìn)口電阻絲		電阻絲/硅碳棒	硅鉬棒、電阻絲	硅鉬棒
zui大裝機(jī)功率	4.5KW		3kw/8kw	10kw	12kw
CVD-□□□ 選件功能	/□	/□
	V		真空系列：?jiǎn)渭?jí)機(jī)械泵+擴(kuò)散泵機(jī)組
		Q	氣氛系統(tǒng)：浮子流量計(jì)；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量計(jì)
備注： CVD系列（電爐、工業(yè)電爐、實(shí)驗(yàn)電爐、高溫電爐、熱處理工業(yè)電爐）以上設(shè)備系統(tǒng)具備冷態(tài)極限真空6.67×10-2Pa接口條件；其他特殊工藝要求的訂貨時(shí)請(qǐng)說(shuō)明。具體價(jià)格根據(jù)工藝要求不同面議，具體請(qǐng)：張，;