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CVD 中溫真空氣氛管式爐（雙溫區(qū)）

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產(chǎn)品型號(hào)CVD（Z）-06/60/2

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更新時(shí)間：2022-07-12 14:53:44瀏覽次數(shù)：612次

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合肥日新高溫技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CVD（Z）系列真空氣氛管式爐專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于中溫CVD工藝。如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、陶瓷電容器（MLCC）氣氛燒結(jié)等等。窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫；加熱元件采用進(jìn)口KTL電阻絲；選用99剛玉管作為爐膛；系統(tǒng)可預(yù)抽真空，氣體采用質(zhì)量流量計(jì)控制。

詳細(xì)介紹

■設(shè)備型號(hào)：CVD(Z)-06/60/2
■zui高溫度： 1300℃
■工作溫度： RT～1250℃
■工作區(qū)域（雙溫區(qū)）：Φ60（外徑)×300；Φ60（外徑)×300
■爐管實(shí)際尺寸：Φ60（外徑）×1450mm （99 剛玉管）
■爐膛材料：氧化鋁、高鋁纖維制品
■加熱元件：FEC 陶瓷加熱板，進(jìn)口瑞典Kanthal 電阻絲
■控溫點(diǎn)數(shù)：2 個(gè)，2 只S 分度熱偶
■氣路系統(tǒng)：3 臺(tái)質(zhì)量流量計(jì)+顯示儀（七星華創(chuàng)）及配套管路、混合罐（整體式結(jié)構(gòu)）
■真空系統(tǒng)：機(jī)械泵及配套管路閥門(mén)，真空度≤10Pa（整體式結(jié)構(gòu)）
■建議升溫速率：3℃～5℃/min
■控溫精度：±1℃
■溫控儀表：2 只，日本進(jìn)口40 段程序控溫儀表，PID 參數(shù)自整定，超溫、
斷偶報(bào)警等保護(hù)。
■zui大加熱功率：6Kw
■空爐保溫功率：2Kw
■外觀處理：主體電腦色或用戶自定
■外形尺寸：約1500mm×1650mm×700mm（L×H×D）
■供電電源：三相電源，50HZ ，380V±10%；10KW